Graniitplatvormi kui täpse mõõtmise ja töötlemise võrdlusvahendi täpsuse hooldus mõjutab otseselt toodangu kvaliteeti. Järgnevalt on esitatud süstemaatiline hoolduskava, mis hõlmab keskkonnakontrolli, igapäevast hooldust ja professionaalset kalibreerimist, et tagada platvormi nanomeetritaseme täpsuse pikaajaline säilimine.
1. Keskkonnakontroll: ehitage täppiskaitsetõke
Temperatuuri ja niiskuse reguleerimine
Töökeskkonna temperatuur tuleb stabiliseerida 20 ± 1 ℃ juures. Iga 1 ℃ kõikumine põhjustab graniitplatvormi termilist deformatsiooni 0,5–1 μm/m. Töökotta saab paigaldada konstantse temperatuuri süsteemi, et vältida kliimaseadme väljalaskeavade otsest platvormile puhumist.
Niiskust tuleks hoida vahemikus 40% kuni 60%. Liigne niiskus võib kergesti põhjustada metalldetailide roostetamist, samas kui liiga madal niiskus võib põhjustada staatilise elektri häireid mõõtmisel.
Vibratsiooni isoleerimine
Platvormi tuleks hoida eemal vibratsiooniallikatest, näiteks stantsimis- ja freespingidest. Soovitatav on hoida vibratsiooniseadmetest vähemalt 3 meetri kaugust.
Kui vibratsiooni ei ole võimalik vältida, saab platvormi alla paigaldada õhkvedruga amortisaatorid, et vähendada keskkonnavibratsiooni mõju platvormi tasapinnale (mis võib vähendada välist vibratsiooni enam kui 80%).
2. Igapäevane hooldus: hoolikas kontroll puhastamisest kaitseni
Pinnapuhastuse spetsifikatsioon
Tolmu eemaldamine: Pühkige pinda iga päev hirvenahast või ebemevaba lapiga samas suunas, et vältida tolmuosakeste (≥5 μm) platvormi kriimustamist. Kangekaelseid plekke saab õrnalt pühkida veevaba etanooliga (puhtus ≥99,7%). Tugevaid lahusteid, näiteks atsetooni, ei tohi kasutada.
Rasvaeemaldus: Kui see satub kokku õliplekkidega, pühkige seda lahjendatud neutraalse puhastusvahendiga, seejärel loputage deioniseeritud veega ja laske õhu käes kuivada, et vältida mineraalõli tungimist platvormi väikestesse pooridesse.
Koorma- ja kokkupõrkekaitse
Platvormi kandevõimet tuleks kontrollida nimikoormuse 70% piires (näiteks 1000 kg platvormi puhul on soovitatav koormus ≤700 kg), et vältida lokaalse ülekoormuse põhjustatud püsivat deformatsiooni.
Töödeldavate detailide löömine platvormile on rangelt keelatud. Tööriistade käsitsemisel kandke pehmeid kindaid, et vältida teravate esemete pinna kriimustamist (kriimustused sügavusega üle 20 μm mõjutavad peegeldunud valguse tee mõõtmist).
3. Professionaalne kalibreerimine: teaduslikult täpse jälgimise tuum
Kalibreerimistsükli seadistus
Tavapärased kasutusstsenaariumid: kalibreerige iga kvartali tagant ja kasutage tasapinna tuvastamiseks laserinterferomeetrit (täpsusega ±0,5 μm/m).
Kõrgsageduslik kasutamine või karmid keskkonnad: igakuine kalibreerimine, keskendudes temperatuurile tundlike alade (näiteks platvormi serva soojusallikate lähedal) jälgimisele.
Kalibreerimisjärgne töötlemine
Kui leitakse tasapinna kõrvalekalle (näiteks > ±1 μm/m), peab professionaalne tehnik selle lihvima ja parandama, kasutades W1.5 mikropulbrit. Liivapaberiga ise lihvimine on rangelt keelatud.
Pärast kalibreerimist tuleks andmed salvestada ja arhiveerida ning hooldusvajaduste ette ennustamiseks tuleks luua platvormi täpsuse nõrgenemiskõver.
4. Ladustamine ja transport: Vältige varjatud täpsuse kadu
Pikaajalise ladustamise põhipunktid
Ladustamise ajal tuleks see katta niiskus- ja tolmukindla kattega. Põhi tuleks toestada kolmest punktist (tugipunkt asub 2/9 platvormi pikkusest), et vältida raskusjõust tingitud painutusdeformatsiooni (1-meetrine platvorm võib pikaajalise ühepunktilise toe tõttu 0,3 μm võrra läbi vajuda).
Pikaajalise lokaalse surve vältimiseks muutke regulaarselt (kord kuus) platvormi tugipunktide asendit.
Transpordikaitse plaan
Lühikesed vahemaad: mähi lööke neelava vahuga, kinnita jäiga raami sisse ja hoia kiirendus 2 g piires.
Pikamaavedu: See tuleb vaakumpakendada ja täita kuiva lämmastikuga. Pärast saabumist tuleks lasta sel enne lahtipakkimist 24 tundi seista, kuni temperatuur tasakaalustub, et vältida kondensvee mõju täpsusele.
5. Rikete ennustamine: varajase probleemi tuvastamise meetodid
Visuaalne kontroll: Kontrollige pinda regulaarselt 40-kordse luubiga. Pidevate kriimustuste või läike olulise vähenemise korral võib see viidata täpsuse langusele.
Heli tuvastamine: Koputage platvormi õrnalt. Kui heli muutub kähedaks (tavaliselt peaks see olema selge heli), võivad sees olla mikropraod. Lõpetage tuvastamiseks kohe selle kasutamine.
Tänu sellele hooldussüsteemile suudab ZHHIMG® graniidist platvorm säilitada tasapinna ±1 μm/m 10 aasta jooksul, mis on enam kui kolm korda pikem kui ebapiisavalt hooldatud platvormide täppis-eluiga. Praktika on tõestanud, et pärast seda, kui teatud pooljuhtide tehas selle lahenduse kasutusele võttis, vähenes platvormi kalibreerimise sagedus 50% ja aastased hoolduskulud säästeti enam kui 150 000 jüaani.
Postituse aeg: 18. juuni 2025