Pooljuhtide tootmise täppisrevolutsioon: kui graniit kohtub mikronitehnoloogiaga
1.1 Ootamatud avastused materjaliteaduses
2023. aasta SEMI Rahvusvahelise Pooljuhtide Assotsiatsiooni aruande kohaselt on 63% maailma arenenud tehastest hakanud traditsiooniliste metallplatvormide asemel kasutama graniidist aluseid. See looduskivi, mis pärineb maakera sügaval asuva magma kondenseerumisest, kirjutab oma ainulaadsete füüsikaliste omaduste tõttu ümber pooljuhtide tootmise ajalugu:
Termilise inertsi eelis: graniidi 4,5 × 10⁻⁶/℃ soojuspaisumistegur on vaid 1/5 roostevaba terase omast ja litograafiamasina pideva töö käigus säilib mõõtmete stabiilsus ±0,001 mm.
Vibratsiooni summutavad omadused: sisemine hõõrdetegur on 15 korda suurem kui malmil, neelates tõhusalt seadmete mikrovibratsiooni.
Nullmagnetiseerumine: lasermõõtmisel magnetiline viga täielikult kõrvaldatud
1.2 Metamorfoosi teekond minu omast tehaseks
Näiteks ZHHIMGi intelligentse tootmisbaasi Shandongis kasutamisel tuleb toorgraniidi tükk läbida:
Ülitäpne töötlemine: viieteljeline hoovastikuga töötluskeskus 200 tunniks pidevaks freesimiseks, pinna karedus kuni Ra0,008 μm
Kunstlik vanandamine: 48 tundi loomulikku pingevabastust konstantse temperatuuri ja niiskuse töökojas, mis parandab toote stabiilsust 40% võrra
Teiseks, lahendage pooljuhtide tootmise kuus täppisprobleemi "kivimilahendus"
2.1 Kiipide killustumise määra vähendamise skeem
Juhtumi demonstratsioon: Pärast seda, kui Saksamaal asuv laastuvalukoda võttis kasutusele meie gaasiga ujuva graniidist platvormi:
| Vahvli läbimõõt | kiibikiiruse vähendamine | tasapinna parandamine |
| 12 tolli | 67% | ≤0,001 mm |
| 18 tolli | 82% | ≤0,0005 mm |
2.2 Litograafilise joondamise täpsuse läbimurde skeem
Temperatuuri kompenseerimissüsteem: sisseehitatud keraamiline andur jälgib kuju muutujat reaalajas ja reguleerib platvormi kallet automaatselt
Mõõdetud andmed: temperatuuri kõikumisel 28 ℃ ± 5 ℃ kõigub kinnitustäpsus alla 0,12 μm
Postituse aeg: 24. märts 2025