Täppistöötluse ja teadusuuringute valdkonnas on graniidist täppisplatvormide tasasus seadmete täpsuse tagamise võtmenäitaja. Järgnevalt on üksikasjalik sissejuhatus mitmesse peamisesse tuvastusmeetodisse ja nende tööprotseduuridesse.
I. Laserinterferomeetri tuvastusmeetod
Laserinterferomeeter on eelistatud tööriist suure täpsusega tasapinna tuvastamiseks. Näiteks ZYGO GPI XP laserinterferomeetri eraldusvõime võib ulatuda 0,1 nm-ni. Tuvastamise teostamisel joondage esmalt interferomeetri valgusallikas platvormiga ja jagage platvormi pind 50 mm × 50 mm ruudustikuga aladeks. Seejärel koguti punkthaaval interferentsiriba andmed ning andmed sobitati ja analüüsiti Zernike polünoomi abil, et saada tasapinna viga. See meetod on rakendatav suure täpsusega platvormide puhul ja suudab tuvastada tasapinna vigu ≤0,5 μm/m². Seda kasutatakse tavaliselt fotolitograafiamasinate ja tipptasemel kolmekoordinaatmõõtemasinate platvormide tuvastamisel.
II. Elektroonilise nivelleerimismeetodi
Elektroonilise loodi massiivi tuvastamine on lihtne ja väga tõhus. Valiti TESA A2 elektrooniline lood (eraldusvõimega 0,01 μm/m) ja paigutati see 9×9 massiivi kujul platvormi X/Y-telje suunas. Iga taseme kaldeandmete sünkroonse kogumise ja seejärel vähimruutude meetodi abil arvutamise abil saab tasapinna väärtuse täpselt kindlaks määrata. See meetod võimaldab tõhusalt tuvastada platvormi lokaalseid nõgususe ja kumeruse tingimusi. Näiteks saab tuvastada ka 0,2 μm kõikumise 50 mm vahemikus, mis sobib kiireks tuvastamiseks masstootmises.
Iii. Optiline lamekristallmeetod
Optiline lamekristallmeetod sobib väikeste platvormide tuvastamiseks. Kinnitage optiline lamekristall tihedalt platvormil testitavale pinnale ja jälgige monokromaatilise valgusallika (näiteks naatriumlambi) valguses nende vahele tekkivaid interferentsiribasid. Kui triibud on paralleelsed sirged triibud, näitab see head tasasust. Kui ilmuvad kõverad triibud, arvutage tasasuse viga triibu kõverusastme põhjal. Iga kõver triip tähistab 0,316 μm kõrguse erinevust ja tasasuse andmed saab lihtsa teisendamise teel.
Neli. Kolmekoordinaadilise mõõtemasina kontrollimeetod
Kolmekoordinaadiga mõõtemasin võimaldab saavutada suure täpsusega mõõtmisi kolmemõõtmelises ruumis. Asetage graniidist platvorm mõõtemasina töölauale ja kasutage sondi, et koguda ühtlaselt andmeid platvormi pinnal asuvatest mitmest mõõtepunktist. Mõõtemasina süsteem töötleb ja analüüsib neid andmeid, et genereerida platvormi tasapinnalisuse aruanne. See meetod võimaldab mitte ainult tasapinnalisust tuvastada, vaid saada samaaegselt ka platvormi teisi geomeetrilisi parameetreid ning sobib suurte graniidist platvormide põhjalikuks tuvastamiseks.
Nende tuvastusmeetodite valdamine aitab teil täpselt hinnata graniidist täppisplatvormi tasasust ja annab usaldusväärse garantii täppisseadmete stabiilseks tööks.
Postituse aeg: 29. mai 2025