Tipptasemel tootmise ja tipptasemel teadusuuringute valdkonnas on õhuujuki ülitäpne liikumismoodul tänu oma suurepärasele täpsusele muutunud peeneks tööks ja mõõtmiseks võtmetähtsusega seadmeks. Graniidist täppisalusel kui tugisüdamikul on töökeskkonnale ranged nõuded ning sobivad keskkonnatingimused on aluseks stabiilse jõudluse ja parima tulemuse tagamiseks.
Esiteks, temperatuuri reguleerimine: täpne "stabilisaator"
Kuigi graniit on tuntud oma stabiilsuse poolest, ei ole see temperatuurimuutuste suhtes täiesti immuunne. Kuigi selle soojuspaisumistegur on madal, tavaliselt 5–7 × 10⁻⁶/℃, võivad ülitäpse liikumisjuhtimise stsenaariumides väikesed temperatuurikõikumised siiski põhjustada mõõtmete muutusi ja mõjutada mooduli täpsust. Pooljuhtkiibi tootmistöökojas nõuab litograafiaprotsess danami-taseme positsioneerimistäpsust ja ümbritseva õhu temperatuur kõigub 1 °C võrra ning 1-meetrise küljepikkusega graniidist alus võib tekitada 5–7 mikroni lineaarset paisumist või kokkutõmbumist. See väike muutus edastatakse õhuujuki ülitäpse liikumismooduli abil, mis on piisav, et kiibi litograafiamustri kõrvalekalle tekitada ja saagikust oluliselt vähendada. Seega, kuna õhus hõljuva ülitäpse liikumismooduli graniidist täppisalus on varustatud, tuleks ideaalse töökeskkonna temperatuuri reguleerida 20 °C ±1 °C juures, kasutades ülitäpseid konstantse temperatuuri seadmeid, näiteks konstantse temperatuuri ja niiskuse kliimaseadet, ümbritseva õhu temperatuuri pidevat jälgimist ja reguleerimist, et tagada temperatuurikõikumiste korral väga väikeses vahemikus aluse suuruse stabiilsus ja mooduli ülitäpne töö.
Teiseks, niiskuse reguleerimine: niiskuskindla kaitse võti "kivi" jaoks
Niiskus on veel üks oluline tegur, mis mõjutab täppis-graniidist aluse toimivust. Kõrge õhuniiskusega keskkonnas imab graniit kergesti veeauru, mis võib põhjustada pinnale kondenseerumist, mis mitte ainult ei mõjuta graniidi ja õhuujuki ülitäpse liikumismooduli ühendusstabiilsust, vaid võib pikas perspektiivis põhjustada ka pinnaerosiooni ning vähendada läiget ja täpsust. Optiliste läätsede lihvimise töökojas, kui õhuniiskus on pikka aega üle 60% suhtelise õhuniiskuse, segab graniidist aluse pinnale adsorbeerunud veeaur gaasiujuki liuguri liikumist, mistõttu läätse lihvimise täpsus väheneb ja pind muutub ebatasaseks. Seetõttu tuleks töökeskkonna suhtelist õhuniiskust rangelt kontrollida vahemikus 40–60% suhtelist õhuniiskust, mida saab reaalajas jälgida ja reguleerida õhukuivatite, niiskusandurite ja muude seadmete paigaldamise abil, et vältida graniidist aluse kahjustamist kõrge õhuniiskuse tõttu ja tagada õhuujuki ülitäpse liikumismooduli sujuv töö.
Kolmandaks, puhtuse garantii: täpsuse "kaitsja"
Tolmuosakeste kahju õhuflotatsiooni ülitäpse liikumismooduli täppisgraniidist alusele ei saa alahinnata. Kui pisikesed osakesed sisenevad gaasikilele gaasiujukliuguri ja graniidist aluse vahelisse tühimikku, võivad need rikkuda gaasikilele ühtluse, suurendada hõõrdumist ja isegi kriimustada aluse pinda, mille tulemuseks on liikumistäpsuse vähenemine. Lennundusdetailide ülitäpse töötlemise töökojas võib õhus olevate tolmuosakeste graniidist alusele langemine töötlemisriista liikumistrajektoorist kõrvale kalduda, mis mõjutab detailide töötlemise täpsust. Seetõttu tuleks tööpiirkonda hoida väga puhtana, saavutades 10 000 või isegi kõrgema puhtustaseme, paigaldades õhupuhastusseadmed, näiteks suure tõhususega õhufiltrid (HEPA), mis filtreerivad õhus olevad tolmuosakesed välja. Samal ajal peavad töötajad kandma tolmuvabu riideid, jalanõusid jne, et vähendada inimeste poolt tekitatud tolmu. Graniidist aluse ja õhuujuki ülitäpse liikumismooduli ülitäpse töökeskkonna säilitamine.
Neljas, vibratsiooniisolatsioon: "löögipadja" sujuv töö
Väline vibratsioon on õhuujuki ülitäpse liikumismooduli täpsuse vaenlane. Kuigi graniidist täppisalusel on teatav vibratsiooni summutamise võime, võib suure tugevusega vibratsioon siiski oma puhverpiiri ületada. Tehase ümbruses liikluse ja suurte mehaaniliste seadmete töö tekitatud vibratsioon kandub maapinna kaudu graniidist alusele, mis häirib õhuujuki ülitäpse liikumismooduli liikumistäpsust. Tipptasemel CMM-is võib vibratsioon põhjustada mõõtepea ja mõõdetava tooriku vahelise kontakti ebastabiilsust, mille tulemuseks on mõõtmisandmete hälve. Selle probleemi lahendamiseks on vaja võtta tõhusaid vibratsiooni isoleerimise meetmeid, näiteks vibratsiooni isoleerivate patjade paigaldamine seadmete paigalduskohta, vibratsiooni isoleeriva aluse ehitamine või aktiivse vibratsiooni isoleerimise süsteemi kasutamine välise vibratsiooni aktiivseks kompenseerimiseks ning vaikse ja stabiilse töökeskkonna loomine graniidist täppisalusele ja õhuujuki ülitäpsele liikumismoodulile.
Ainult temperatuuri, niiskuse, puhtuse ja vibratsioonikontrolli keskkonnanõuete täieliku täitmisega saab õhuujuki ülitäpse liikumismooduli graniidist täppisalus täielikult ära kasutada oma jõudluse eeliseid, pakkuda usaldusväärset garantiid ülitäpseks tööks erinevates valdkondades ning aidata tööstusharul liikuda kõrgema täppistootmise ja teadusliku uurimistöö taseme poole.
Postituse aeg: 08.04.2025