Pooljuhtide tootmises on fotolitograafiamasin võtmeseade, mis määrab kiipide täpsuse, ja graniidist alus oma mitmete omadustega on muutunud fotolitograafiamasina asendamatuks komponendiks.
Termiline stabiilsus: "Kilp" temperatuurimuutuste vastu
Fotolitograafiamasina töötamise ajal tekib suures koguses soojust. Isegi 0,1 ℃ temperatuuri kõikumine võib põhjustada seadme komponentide deformatsiooni ja mõjutada fotolitograafia täpsust. Graniidi soojuspaisumistegur on äärmiselt madal, vaid 4–8 × 10⁻⁶/℃, mis on umbes 1/3 terase ja 1/5 alumiiniumisulami omast. See võimaldab graniidist alusel säilitada mõõtmete stabiilsust fotolitograafiamasina pikaajalisel töötamisel või keskkonnatemperatuuri muutumisel, tagades optiliste komponentide ja mehaaniliste konstruktsioonide täpse positsioneerimise.
Supervibratsioonivastane jõudlus: "käsn", mis neelab vibratsiooni
Pooljuhtide tehases võivad ümbritsevate seadmete töö ja inimeste liikumine tekitada vibratsiooni. Graniidil on suur tihedus ja kõva tekstuur ning suurepärased summutusomadused, mille summutussuhe on 2–5 korda suurem kui metallidel. Kui graniidi alusele kandub üle väliseid vibratsioone, muundab sisemiste mineraalkristallide vaheline hõõrdumine vibratsioonienergia hajutamiseks soojusenergiaks, mis võib vibratsiooni lühikese aja jooksul oluliselt vähendada, võimaldades fotolitograafiamasinal kiiresti stabiilsust taastada ja vältida vibratsioonist tingitud fotolitograafiamustri hägustumist või joondamata jätmist.
Keemiline stabiilsus: puhta keskkonna "kaitsja"
Fotolitograafiamasina sisemus puutub kokku mitmesuguste keemiliste keskkondadega ning tavalised metallmaterjalid on altid korrosioonile või osakeste eraldumisele. Graniit koosneb mineraalidest nagu kvarts ja päevakivi. Sellel on stabiilsed keemilised omadused ja tugev korrosioonikindlus. Pärast happe- ja leeliselahustes leotamist on pinna korrosioon äärmiselt väike. Samal ajal tekitab selle tihe struktuur peaaegu üldse mitte prahti ega tolmu, mis vastab kõrgeimatele puhasruumi standarditele ja vähendab kiipide saastumise ohtu.
Töötlemise kohanemisvõime: "Ideaalne materjal" täpsete võrdlusaluste loomiseks
Fotolitograafiamasina põhikomponendid tuleb paigaldada ülitäpsele võrdluspinnale. Graniidi sisemine struktuur on ühtlane ja seda on lihtne töödelda äärmiselt suure täpsusega lihvimise, poleerimise ja muude tehnikate abil. Selle tasasus võib ulatuda ≤0,5 μm/m ja pinna karedus Ra on ≤0,05 μm, mis pakub täpset paigaldusalust sellistele komponentidele nagu optilised läätsed.
Pikk eluiga ja hooldusvaba: "Teravad tööriistad" kulude vähendamiseks
Võrreldes metallmaterjalidega, mis pikaajalisel kasutamisel väsivad ja pragunevad, ei deformeeru graniit tavapäraste koormuste korral peaaegu üldse plastselt ega purune ning ei vaja pinnatöötlust, vältides seega katte koorumise ja saastumise ohtu. Praktikas võivad graniidist aluse peamised jõudlusnäitajad pärast paljude aastate pikkust kasutamist siiski stabiilsena püsida, vähendades seadmete käitamis- ja hoolduskulusid.
Alates termilisest stabiilsusest ja vibratsioonikindlusest kuni keemilise inertsideni vastavad graniidist aluse mitmed omadused ideaalselt fotolitograafiamasina nõuetele. Kuna kiipide tootmisprotsess areneb jätkuvalt suurema täpsuse suunas, mängivad graniidist alused pooljuhtide tootmise valdkonnas jätkuvalt asendamatut rolli.
Postituse aeg: 20. mai 2025