Pooljuhtide tootmistöökojas on kiibi tootmisprotsessi nõuded keskkonnatingimuste ja seadmete täpsuse osas äärmuslikud ning iga väike kõrvalekalle võib kaasa tuua kiibi saagikuse olulise vähenemise. XYZT täppisportaali liikumisplatvorm tugineb graniidist komponentidele, mis teevad koostööd platvormi teiste osadega, et luua kindel alus nanoskaala täpsuse saavutamiseks.
Suurepärased vibratsiooni blokeerivad omadused
Pooljuhtide tootmistöökojas võivad välisseadmete töö ja ringi liikuv personal põhjustada vibratsiooni. Graniitkomponentide sisemine struktuur on tihe ja ühtlane, millel on loomulikult kõrged summutusomadused, mis sarnanevad tõhusa vibratsiooni "barjääriga". Kui väline vibratsioon kandub XYZT platvormile, suudab graniitkomponent tõhusalt summutada enam kui 80% vibratsioonienergiast ja vähendada vibratsiooni mõju platvormi liikumise täpsusele. Samal ajal on platvorm varustatud ülitäpse õhuujukjuhtimissüsteemiga, mis töötab koos graniitkomponentidega. Õhuujukjuhtimissüsteem kasutab kõrgsurvegaasist moodustunud stabiilset gaasikilet, et realiseerida platvormi liikuvate osade kontaktivaba vedrustuse liikumine ja vähendada mehaanilise hõõrdumise põhjustatud väikest vibratsiooni. Koos tagavad need kaks, et platvormi positsioneerimistäpsus püsib alati nanomeetri tasemel võtmeprotsessides, nagu kiibi litograafia ja söövitamine, ning väldib vibratsioonist tingitud kiibi vooluringi mustrite kõrvalekallet.
Suurepärane termiline stabiilsus
Töökoja temperatuuri ja niiskuse kõikumine mõjutab oluliselt kiibitootmisseadmete täpsust. Graniidi soojuspaisumistegur on väga madal, üldiselt 5–7 × 10⁻⁶/℃, ja suurus jääb temperatuuri muutudes peaaegu muutumatuks. Isegi kui töökoja päeva ja öö temperatuuride erinevus või seadmete soojuse tootmine põhjustab ümbritseva õhu temperatuuri kõikumist, jäävad graniidi komponendid stabiilseks, vältides platvormi deformatsiooni soojuspaisumise ja kokkutõmbumise tõttu. Samal ajal jälgib platvormiga varustatud intelligentne temperatuuri juhtimissüsteem ümbritseva õhu temperatuuri reaalajas, reguleerib automaatselt kliimaseadme ja soojuse hajutamise seadmeid ning hoiab töökoja temperatuuri 20 °C ± 1 °C juures. Koos graniidi soojusstabiilsuse eelistega tagab platvorm pikaajalise töö ajal, et iga telje liikumistäpsus vastaks alati kiibitootmise nanomeetri täpsusstandarditele, tagades kiibi litograafiamustri suuruse täpsuse ja söövitussügavuse ühtluse.
Vastake puhta keskkonna vajadustele
Pooljuhtide tootmistsehh peab säilitama kõrge puhtusastme, et vältida tolmuosakeste sattumist kiibile. Graniitmaterjal ise tolmu ei tekita ja pind on sile, tolmu ei ima kergesti. Platvorm tervikuna on täielikult või poolsuletud konstruktsiooniga, et vähendada välise tolmu sissetungi. Sisemine õhuringlussüsteem on ühendatud töökoja puhta kliimaseadmega, et tagada sisemise õhu puhtus kiibi tootmiseks vajalikul tasemel. Selles puhtas keskkonnas ei mõjuta graniidist komponendid tolmuerosiooni tõttu jõudlust ning platvormi põhikomponendid, nagu ülitäpsed andurid ja mootorid, saavad samuti stabiilselt töötada, pakkudes kiibi tootmiseks pidevat ja usaldusväärset nanoskaala täpsuse garantiid ning aidates pooljuhtide tööstusel liikuda kõrgemale protsessi tasemele.
Postituse aeg: 14. aprill 2025