Pooljuhtide tootmise valdkonnas on submikroniline täpsus kiibi jõudluse tagamise võti ning graniidist alus (ZHHIMG®) oma materjaliomaduste, täpse töötlemise ja uuendusliku disainiga on saanud selle täpsuse saavutamise peamine tagatis.
Materjali omaduste seisukohast on ZHHIMG®-i valitud musta graniidi tihedus ligikaudu 3100 kg/m³ ja sellel on tihe sisemine struktuur. See suur tihedus annab sellele suurepärase stabiilsuse ja jäikuse. Pooljuhtseadmete töötamise ajal tekitavad mootorite pöörlemine ja mehaaniliste komponentide liikumine seadme sees vibratsiooni. Graniidist alus suudab tõhusalt neelata üle 90% vibratsioonienergiast, vähendades oluliselt vibratsiooni mõju seadme täpsusele. Samal ajal võimaldab selle äärmiselt madal soojuspaisumistegur hoida deformatsiooni väga väikeses vahemikus, kui ümbritseva õhu temperatuur kõigub, pakkudes pooljuhtseadmetele stabiilset tugialust ja takistades seadmekomponentide nihkumist temperatuurimuutuste tõttu, mis võivad täpsust mõjutada.
Töötlemise ja tootmise osas võtab ZHHIMG® tehas kasutusele rahvusvaheliselt tuntud tipptasemel töötlemisseadmed ning seal on neli ülisuurt lihvimismasinat (iga masina hind üle 500 000 USA dollari), mis suudavad graniidil teha ülitäpse lihvimise. Viieteljelise ühendusega CNC-töötluse ja muude protsesside abil saavutatakse masina aluse tasapind nanomeetri tasemel, pakkudes ülitasast tugipinda pooljuhtseadmete paigaldamiseks ja tagades seadme iga komponendi täpse positsioneerimise. Lisaks pakub konstantse temperatuuri ja niiskusega töökoda (pindalaga 10 000 ruutmeetrit) töötlemiseks stabiilset keskkonda. Seda ümbritsevad 500 mm laiused ja 2000 mm sügavad vibratsioonivastased kaevikud ning vaiksed kraanad isoleerivad tõhusalt välise vibratsiooni häired ja tagavad masina aluse töötlemise täpsuse.
Lisaks on ZHHIMG®-l ka tugev kohandamisvõimalus. Pooljuhtseadmete erinõuete jaoks saab eelnevalt valmistada täpsed paigaldusavad ja kaablikanalid, et saavutada seadme ja aluse vahel täiuslik ühilduvus. Samal ajal kontrollitakse ja kalibreeritakse masina alust rangelt koos maailmatasemel metroloogia- ja testimisseadmetega, nagu Saksa Mahri minutimõõtur (täpsusega 0,5 μm) ja Šveitsi WYLER elektrooniline lood, et tagada iga masina aluse vastavus pooljuhtseadmete rangetele nõuetele submikronilise täpsuse osas.
Just nende eeliste kombinatsioon muudab ZHHIMG® graniidist alusmaterjali usaldusväärseks valikuks pooljuhtseadmetes submikroni täpsuse saavutamiseks, aidates pooljuhtide tootmisel liikuda suurema täpsusega väljade poole.
Postituse aeg: 18. juuni 2025