Graniit on kõva ja vastupidav materjal, mida sageli kasutatakse ehitustööstuses. Sellel on aga ka omadused, mis muudavad selle kasulikuks pooljuhtide tootmisel, eriti integraallülituste valmistamisel ja töötlemisel. Graniidist komponente, nagu graniidist lauad ja graniitplokid, kasutatakse laialdaselt nende stabiilsuse, tasapinna ja madala soojuspaisumisteguri tõttu.
Üks graniidist komponentide peamisi kasutusalasid pooljuhtide tootmises on tootmisprotsess. Räniplaadid, mis on integraallülituste põhilised ehitusplokid, peavad olema valmistatud suure täpsusega ja korrektsusega. Igasugune moonutus või liikumine protsessi ajal võib põhjustada defekte, mis võivad mõjutada integraallülituste kvaliteeti ja funktsionaalsust. Graniidist lauad oma kõrge stabiilsuse ja tasapinnaga pakuvad head platvormi plaatide töötlemisseadmetele. Need on ka vastupidavad protsessis vajaliku kuumutamise ja jahutamise põhjustatud soojuspaisumisele ja kokkutõmbumisele.
Graniitplokke kasutatakse pooljuhtide töötlemisel ka nende termilise stabiilsuse tõttu. Söövitus- või sadestamisprotsesside ajal kasutatakse räniplaadi pinna modifitseerimiseks kuumi gaase või plasmasid. Vahvli temperatuuri tuleb kontrollida, et tagada protsessi tõhus ja täpne läbiviimine. Graniitplokid oma madala soojuspaisumisteguriga aitavad plaadi temperatuuri stabiliseerida, vähendades temperatuurikõikumiste ohtu, mis võivad töödeldava materjali kvaliteeti mõjutada.
Lisaks valmistamis- ja töötlemisprotsessidele kasutatakse graniidist komponente ka pooljuhtide tootmise metroloogia ja kontrolli etappides. Metroloogilisi mõõtmisi tehakse tagamaks, et struktuuride suurus, kuju ja asukoht vahvlil vastavad nõutavatele spetsifikatsioonidele. Graniitplokke kasutatakse nendes mõõtmistes võrdlusstandarditena nende mõõtmete stabiilsuse ja täpsuse tõttu. Neid kasutatakse ka kontrolli etappides, kus integraallülituste kvaliteeti kontrollitakse suurenduse all.
Üldiselt on graniidist komponentide kasutamine pooljuhtide tootmises viimastel aastatel suurenenud. Vajadus suure täpsuse, täpsuse ja stabiilsuse järele integraallülituste valmistamisel ja töötlemisel on ajendanud pooljuhtide tootjaid neid materjale kasutusele võtma. Graniidi ainulaadsed omadused, nagu kõvadus, stabiilsus ja madal soojuspaisumistegur, muudavad selle suurepäraseks valikuks nendes protsessides kasutamiseks. Pooljuhtide tehnoloogia pideva arendamise ja täiustamisega eeldatakse, et graniidist komponentide kasutamine tulevikus veelgi kasvab.
Postituse aeg: 05. detsember 2023