Graniit on kõva ja vastupidav materjal, mida ehitustööstuses sageli kasutatakse.Siiski on sellel ka omadusi, mis muudavad selle kasulikuks pooljuhtide tootmisel, eriti integraallülituste valmistamisel ja töötlemisel.Graniitkomponente, nagu graniidist lauad ja graniidist plokid, kasutatakse laialdaselt nende stabiilsuse, tasasuse ja madala soojuspaisumisteguri tõttu.
Graniitkomponentide üks peamisi kasutusalasid pooljuhtide valmistamisel on tootmisprotsess.Räniplaadid, integraallülituste peamised ehitusplokid, tuleb valmistada suure täpsusega ja täpsusega.Igasugune moonutus või liikumine protsessi ajal võib põhjustada defekte, mis võivad mõjutada integraallülituste kvaliteeti ja funktsionaalsust.Graniitlauad on oma suure stabiilsuse ja tasapinnalisusega hea platvormi vahvlitöötlemisseadmetele.Samuti on need vastupidavad protsessis vajalikust kuumutamisest ja jahutamisest põhjustatud soojuspaisumisele ja kokkutõmbumisele.
Graniitplokke kasutatakse nende termilise stabiilsuse tõttu ka pooljuhtide töötlemisel.Söövitamise või sadestamise käigus kasutatakse räniplaadi pinna modifitseerimiseks kuumi gaase või plasmasid.Vahvli temperatuuri tuleb kontrollida, et tagada protsessi tõhus ja täpne läbiviimine.Graniitplokid oma madala soojuspaisumisteguriga aitavad stabiliseerida vahvli temperatuuri, vähendades temperatuurikõikumiste riski, mis võivad mõjutada töödeldava materjali kvaliteeti.
Lisaks tootmis- ja töötlemisprotsessidele kasutatakse graniidist komponente ka pooljuhtide valmistamise metroloogia ja kontrollimisetappides.Metroloogilised mõõtmised tehakse tagamaks, et vahvlil olevate konstruktsioonide suurus, kuju ja asukoht vastavad nõutavatele spetsifikatsioonidele.Graniitplokke kasutatakse nendel mõõtmistel etalonidena nende mõõtmete stabiilsuse ja täpsuse tõttu.Neid kasutatakse ka kontrollietappides, kus integraallülituste kvaliteeti kontrollitakse suure suurendusega.
Üldiselt on graniidist komponentide kasutamine pooljuhtide tootmises viimastel aastatel suurenenud.Vajadus suure täpsuse, täpsuse ja stabiilsuse järele integraallülituste valmistamisel ja töötlemisel on ajendanud pooljuhtide tootjaid neid materjale kasutusele võtma.Graniidi ainulaadsed omadused, nagu kõvadus, stabiilsus ja madal soojuspaisumistegur, muudavad selle nendes protsessides kasutamiseks suurepäraseks valikuks.Pooljuhttehnoloogia jätkuva arendamise ja täiustamisega eeldatakse, et graniidist komponentide kasutamine kasvab tulevikus veelgi.
Postitusaeg: 05. detsember 2023