Graniit on kõva ja vastupidav materjal, mida kasutatakse sageli ehitustööstuses. Kuid sellel on ka omadused, mis muudavad selle kasulikuks pooljuhtide tootmisel, eriti integreeritud vooluringide valmistamisel ja töötlemisel. Graniidist komponente, näiteks graniidist lauad ja graniidiplokid, kasutatakse laialdaselt nende stabiilsuse, tasasuse ja madala soojuspaisumise koefitsiendi jaoks.
Graniidist komponentide üks peamisi kasutamisi pooljuhtide tootmisel on valmistamisprotsessis. Räni vahvlid, integreeritud vooluringide põhilised ehitusplokid, tuleb valmistada suure täpsuse ja täpsusega. Mis tahes moonutused või liikumine protsessi käigus võivad põhjustada defekte, mis võivad mõjutada integreeritud vooluahelate kvaliteeti ja funktsionaalsust. Graniidist lauad, millel on kõrge stabiilsus ja tasasus, pakuvad head platvormi vahvli töötlemise seadmetele. Samuti on need vastupidavad soojuspaisumisele ja kontraktsioonile, mis on põhjustatud protsessis vajalikust kütmisest ja jahutamisest.
Graniidiplokke kasutatakse ka pooljuhtide töötlemisel nende termilise stabiilsuse tagamiseks. Söövitus- või sadestusprotsesside ajal kasutatakse räni vahvli pinna muutmiseks kuuma gaase või plasma. Vahvli temperatuuri tuleb kontrollida, et tagada protsessi tõhusa ja täpse läbiviimine. Graniidiplokid, millel on madal soojuspaisumistegur, aitavad stabiliseerida vahvli temperatuuri, vähendades temperatuuri kõikumiste riski, mis võib mõjutada töödeldud materjali kvaliteeti.
Lisaks valmistamis- ja töötlemisprotsessidele kasutatakse pooljuhtide tootmise metroloogias ja kontrolli etappides ka graniidist komponente. Metroloogia mõõtmised tehakse selleks, et vahvli konstruktsioonide suurus, kuju ja asukoht oleksid nõutavate spetsifikatsioonide piires. Nendes mõõtmistes kasutatakse graniidiplokke võrdlusstandarditena nende mõõtmete stabiilsuse ja täpsuse tõttu. Neid kasutatakse ka kontrollijärgus, kus integreeritud vooluahelate kvaliteeti kontrollitakse suure suurendusega.
Üldiselt on graniidikomponentide kasutamine pooljuhtide tootmisel viimastel aastatel suurenenud. Vajadus integreeritud vooluahelate valmistamisel ja töötlemisel on suure täpsuse, täpsuse ja stabiilsuse järele ajendanud nende materjalide kasutuselevõttu pooljuhtide tootjate poolt. Graniidi ainulaadsed omadused, näiteks selle kõvadus, stabiilsus ja madal soojuspaisumistegur, muudavad selle suurepäraseks valikuks nendes protsessides kasutamiseks. Pooljuhtide tehnoloogia jätkuva arendamise ja parendamise tõttu kasvab graniidist komponentide kasutamine tulevikus veelgi.
Postiaeg: detsember 05-2023