Pooljuhtide ja optoelektroonika tootmisseadmetes kasutatakse graniiti peamiselt võtmekomponentides, nagu täppisliikumisplatvormid, juhtrööbaste alused, vibratsiooniisolatsiooni tugistruktuurid ja optiliste komponentide paigaldusalused. Nendel osadel on äärmiselt kõrged täpsuse, stabiilsuse ja keskkonnataluvuse nõuded. Graniidi omadused suudavad täpselt vastata pooljuhtide ja optoelektroonika tööstuse rangetele nõuetele. Järgnevalt on esitatud konkreetsete rakendusstsenaariumide ja eeliste analüüs:
I. Peamised rakenduse osad
Täppisliikumisplatvormid (näiteks fotolitograafiamasinate ja liimimismasinate vahvliplatvormid)
Seda kasutatakse täppiskomponentide, näiteks vahvlite ja optiliste läätsede kandmiseks, saavutades nanoskaala täpsusega translatsiooni- ja pöörlemisliigutusi.
Tüüpilised seadmed: fotolitograafiamasina toorikulaud, mõõteseadmete positsioneerimisplatvorm.
Juhtrööpa alus ja raami konstruktsioon
Lineaarjuhikute ja õhuflotatsioonijuhikute paigaldusalusena toetab see seadme südamiku liikumismehhanismi.
Tüüpilised seadmed: pooljuhtide pakkimisseadmete mehaanilised raamid ja optilised kontrollinstrumendid.
Vibratsiooni isoleeriv tugi ja stabiliseeriv struktuur
Seda kasutatakse väliste vibratsioonide (näiteks tehasepõrandalt või seadmete töötamise ajal tekkivate vibratsioonide) isoleerimiseks, tagades optiliste süsteemide või täppismasinate stabiilsuse.
Tüüpilised stsenaariumid: Optiliste mikroskoopide ja laserinterferomeetrite alustugi.
Optiliste komponentide kinnitusalus
Optilise tee süsteemi joondamise täpsuse pikaajalise stabiilsuse tagamiseks tuleb optilisi seadmeid, näiteks peegleid, prismasid ja lasereid, paigaldada.
Tüüpilised seadmed: optoelektroonilised pakendamisseadmed, optiliste kiudude ühendussüsteemid.
Postituse aeg: 29. mai 2025