Graniidimaterjale kasutatakse pooljuhtide tööstuses laialdaselt tänu nende suurepärastele omadustele, nagu kõrge stabiilsus, madal soojuspaisumine ja kõrge vastupidavus korrosioonile. Need omadused muudavad graniidist ideaalse materjali ülitäpsete komponentide ehitamiseks vahvli ülekandesüsteemis.
Pooljuhtide tootmisprotsessis mängib vahvliülekande süsteem vahvlite transportimisel kriitilist rolli tootmisprotsessi erinevatel etappidel. Täpsus ja täpsus on nende süsteemide olulised nõuded, kuna isegi väikesed kõrvalekalded võivad kogu protsessi ohustada. Seetõttu tuleb vahvliülekande süsteemi komponendid valmistada kvaliteetsetest materjalidest ja graniit vastab neile kriteeriumidele.
Graniidist materjalidest valmistatud vahvliülekandesüsteemi mõned osad hõlmavad järgmist:
1. Vaakumkatte laud
Protsessi ajal vahvli hoidmiseks kasutatakse vaakum -padrunilaud ja vahvli kahjustamise tagamiseks peab sellel olema stabiilne pind. Graniit on selle laua valmistamiseks ideaalne materjal, kuna sellel on tasane mittepoorne pind, mis tagab kõrge stabiilsuse ja täpsuse. Lisaks on graniidiidil madal soojuspaisumise koefitsient, mis muudab selle temperatuurimuutuste suhtes vastupidavaks, mis võib põhjustada vahvli mõõtmete muutusi.
2. õhu kandva etapp
Õhu kandmise etappi kasutatakse vahvli transportimiseks tootmisprotsessi erinevate etappide kaudu. Etapp on loodud hõõrdetu liikumise tagamiseks, mis nõuab suurt täpsust ja stabiilsust. Selles rakenduses kasutatakse graniiti, kuna see on jäik ja kõva kivi ning see peab aja jooksul vastu deformatsioonile ja kulumisele.
3. lineaarsed liikumisjuhid
Lineaarseid liikumisjuhendeid kasutatakse õhu kandmise etapi juhtimiseks ja need peavad vigade minimeerimiseks olema täpselt paigutatud. Selle juhendi ehitamiseks kasutatakse graniiti, kuna sellel on suurepärane mehaaniline stabiilsus ja tugevus. Materjal on ka korrosioonikindel, mis tagab juhendisüsteemi pikaealisuse.
4. metroloogiaseadmed
Metroloogiaseadmeid kasutatakse vahvli mõõtmete ja omaduste mõõtmiseks tootmisprotsessi ajal. Graniit on selle seadme ehitamiseks ideaalne materjal, kuna sellel on kõrge jäikus, madal paisumine ja minimaalne deformatsioon koormuse all. Lisaks tagab graniidi termiline stabiilsus, et metroloogiaseadmed püsivad aja jooksul stabiilsena ja täpsed.
Kokkuvõtteks tugineb pooljuhtide tööstus täpsusele ja täpsusele ning graniidist materjalid on osutunud tootmisprotsessis väga usaldusväärseks ja stabiilseks. Kuna vahvliülekandesüsteemis on palju kriitilisi komponente, mis nõuavad suurt stabiilsust, täpsust ja madalat soojuspaisumist, on insenerid pöördunud nende kriitiliste nõuete täitmiseks graniidimaterjalidele.
Postiaeg: 19. märts 20124