Graniitmaterjale kasutatakse pooljuhtide tööstuses laialdaselt tänu nende suurepärastele omadustele, nagu kõrge stabiilsus, madal soojuspaisumine ja kõrge korrosioonikindlus.Need omadused muudavad graniidi ideaalseks materjaliks vahvliülekandesüsteemi ülitäpsete komponentide ehitamiseks.
Pooljuhtide tootmisprotsessis mängib vahvlite ülekandesüsteem kriitilist rolli vahvlite transportimisel tootmisprotsessi erinevates etappides.Täpsus ja täpsus on nende süsteemide põhinõuded, kuna isegi väikesed kõrvalekalded võivad kogu protsessi ohustada.Seetõttu peavad vahvlite ülekandesüsteemi komponendid olema valmistatud kvaliteetsetest materjalidest ja graniit vastab neile kriteeriumidele.
Mõned graniitmaterjalidest valmistatud vahvlite ülekandesüsteemi osad hõlmavad järgmist:
1. Vaakumpadruni laud
Vaakumpadruni lauda kasutatakse vahvli hoidmiseks protsessi ajal ja sellel peab olema stabiilne pind, et vahvel ei kahjustaks.Graniit on selle laua valmistamiseks ideaalne materjal, kuna sellel on tasane, mittepoorne pind, mis tagab kõrge stabiilsuse ja täpsuse.Lisaks on graniidil madal soojuspaisumistegur, mis muudab selle vastupidavaks temperatuurimuutustele, mis võivad põhjustada vahvli mõõtmete muutusi.
2. Õhku kandev etapp
Õhku kandvat etappi kasutatakse vahvli transportimiseks läbi tootmisprotsessi erinevate etappide.Lava on konstrueeritud pakkuma hõõrdumatut liikumist, mis nõuab suurt täpsust ja stabiilsust.Selles rakenduses kasutatakse graniiti, kuna see on jäik ja kõva kivi ning see on vastupidav deformatsioonile ja kulumisele aja jooksul.
3. Lineaarsed liikumisjuhikud
Lineaarseid liikumisjuhikuid kasutatakse õhku kandva etapi juhtimiseks ja need peavad olema vigade minimeerimiseks täpselt paigutatud.Selle juhendi ehitamiseks kasutatakse graniiti, kuna sellel on suurepärane mehaaniline stabiilsus ja tugevus.Materjal on ka korrosioonikindel, mis tagab juhtsüsteemi pikaealisuse.
4. Metroloogiaseadmed
Metroloogiaseadmeid kasutatakse vahvli mõõtmete ja omaduste mõõtmiseks tootmisprotsessi käigus.Graniit on selle seadme ehitamiseks ideaalne materjal, kuna sellel on suur jäikus, väike paisumine ja minimaalne deformatsioon koormuse all.Lisaks tagab graniidi termiline stabiilsus, et metroloogiaseadmed püsivad aja jooksul stabiilsena ja täpsena.
Kokkuvõtteks võib öelda, et pooljuhtide tööstus tugineb täpsusele ja täpsusele ning graniitmaterjalid on osutunud tootmisprotsessis väga töökindlaks ja stabiilseks.Kuna vahvlite ülekandesüsteemis on palju kriitilisi komponente, mis nõuavad suurt stabiilsust, täpsust ja väikest soojuspaisumist, on insenerid nende kriitiliste nõuete täitmiseks pöördunud graniitmaterjalide poole.
Postitusaeg: 19. märts 2024