Graniitmaterjale kasutatakse pooljuhtide tööstuses laialdaselt tänu nende suurepärastele omadustele, nagu kõrge stabiilsus, madal soojuspaisumine ja kõrge korrosioonikindlus. Need omadused muudavad graniidi ideaalseks materjaliks ülitäpsete komponentide ehitamiseks kiipide ülekandesüsteemis.
Pooljuhtide tootmisprotsessis mängib kiipide ülekandesüsteem kriitilist rolli kiipide transportimisel tootmisprotsessi eri etappide vahel. Täpsus ja korrektsus on nende süsteemide olulised nõuded, kuna isegi väikesed kõrvalekalded võivad kogu protsessi ohtu seada. Seetõttu peavad kiipide ülekandesüsteemi komponendid olema valmistatud kvaliteetsetest materjalidest ja graniit vastab neile kriteeriumidele.
Mõned graniidist materjalidest valmistatud vahvliülekandesüsteemi osad hõlmavad järgmist:
1. Vaakumpadruni laud
Vaakumpadrunlauda kasutatakse vahvli hoidmiseks protsessi ajal ja sellel peab olema stabiilne pind, et vahvlit ei kahjustataks. Graniit on selle laua valmistamiseks ideaalne materjal, kuna sellel on tasane, mittepoorne pind, mis tagab suure stabiilsuse ja täpsuse. Lisaks on graniidil madal soojuspaisumistegur, mis muudab selle vastupidavaks temperatuurimuutustele, mis võivad põhjustada vahvli mõõtmete muutusi.
2. Õhukandjaga etapp
Õhukandjal platvormi kasutatakse vahvli transportimiseks läbi tootmisprotsessi erinevate etappide. Platvorm on konstrueeritud nii, et see tagaks hõõrdevaba liikumise, mis nõuab suurt täpsust ja stabiilsust. Graniiti kasutatakse selles rakenduses, kuna see on jäik ja kõva kivi ning peab aja jooksul vastu deformatsioonile ja kulumisele.
3. Lineaarsed liikumisjuhikud
Lineaarseid liikumisjuhikuid kasutatakse õhklaagriga lava juhtimiseks ja need tuleb vigade minimeerimiseks täpselt paigutada. Selle juhiku valmistamiseks kasutatakse graniiti, kuna sellel on suurepärane mehaaniline stabiilsus ja tugevus. Materjal on ka korrosioonikindel, mis tagab juhikusüsteemi pikaealisuse.
4. Metroloogiaseadmed
Metroloogiaseadmeid kasutatakse vahvli mõõtmete ja omaduste mõõtmiseks tootmisprotsessi ajal. Graniit on selle seadme ehitamiseks ideaalne materjal, kuna sellel on suur jäikus, väike paisumine ja minimaalne deformatsioon koormuse all. Lisaks tagab graniidi termiline stabiilsus metroloogiaseadme stabiilsuse ja täpsuse aja jooksul.
Kokkuvõtteks võib öelda, et pooljuhtide tööstus tugineb täpsusele ja korrektsusele ning graniitmaterjalid on osutunud tootmisprotsessis väga töökindlaks ja stabiilseks. Kuna paljud kiipide ülekandesüsteemi kriitilised komponendid nõuavad suurt stabiilsust, täpsust ja väikest soojuspaisumist, on insenerid nende kriitiliste nõuete täitmiseks pöördunud graniitmaterjalide poole.
Postituse aeg: 19. märts 2024