Graniitkiht on oluline komponent erinevates pooljuhtseadmetes. Kuna graniit on väga stabiilne ja jäik materjal, kasutatakse seda laialdaselt pooljuhtide töötlemise seadmete alusena. Seda iseloomustab madal soojuspaisumistegur, kõrge mõõtmete stabiilsus ja suurepärased mehaanilised omadused. Nende omaduste tõttu kasutatakse graniitkihti kõige sagedamini kolme erinevat tüüpi pooljuhtseadmetes - metroloogiaseadmetes, litograafiaseadmetes ja kontrollseadmetes.
Metroloogiaseadmeid kasutatakse pooljuhtseadiste kriitiliste mõõtmete mõõtmiseks ja tuvastamiseks. Neil on oluline roll pooljuhtide tootmisprotsessi kvaliteedi ja järjepidevuse säilitamisel. Metroloogiaseadmete hulka kuuluvad sellised instrumendid nagu optilised mikroskoobid, elektronmikroskoobid ja aatomjõumikroskoobid (AFM). Kuna nende mõõteseadmete jõudlus sõltub nende stabiilsusest, täpsusest ja vibratsioonikindlusest, on graniit ideaalne valik nende alusmaterjaliks. Graniidist aluspinna ühtlus ja stabiilsus pakuvad instrumentidele stabiilset platvormi, mis suurendab nende täpsust ja töökindlust.
Mikrokiibimustrite valmistamiseks vahvlile kasutatakse litograafiaseadmeid. Litograafiaprotsess nõuab keerukate vooluringide loomiseks ja kiibi jõudluse parandamiseks suurt täpsust ja korrektsust. Litograafiaseadmed hõlmavad astmelisi ja skannerisüsteeme, mis kasutavad piltide vahvlile ülekandmiseks valgust. Kuna litograafiaprotsess on vibratsiooni ja termiliste muutuste suhtes väga tundlik, on kvaliteetne alus litograafiaprotsessi stabiilsuse ja korduvuse tagamiseks hädavajalik. Graniitalused tagavad litograafiasüsteemidele vajaliku stabiilsuse ja range vibratsioonisummutusvõime. Graniitalus võimaldab astmelisel või skannerisüsteemil säilitada täpsed ruumilised suhted, tagades kõrge täpsuse ja lõpptoote kvaliteedi.
Pooljuhtseadiste defektide tuvastamiseks kasutatakse kontrollseadmeid. Kontrollseadmete hulka kuuluvad sellised süsteemid nagu laserskaneerivad mikroskoobid, elektronmikroskoobid ja optilised mikroskoobid. Kuna need seadmed peavad olema väga täpsed, stabiilsed ja vibratsioonikindlad, on graniitkihid ideaalne materjal. Graniidi mehaanilised omadused ja mõõtmete stabiilsus aitavad vibratsiooni isoleerida, mis suurendab kontrollseadmete väljundi täpsust.
Kokkuvõtteks võib öelda, et graniidist alus on pooljuhtide tööstuses ülioluline ja seda kasutatakse laialdaselt erinevat tüüpi seadmetes. Selle ainulaadsed omadused, nagu mõõtmete stabiilsus, madal soojuspaisumistegur ja suurepärane mehaaniline stabiilsus, muudavad graniidi ideaalseks valikuks pooljuhtseadmete alusmaterjaliks. Kuna kvaliteetne graniidist alus tagab pooljuhtseadmetele vajaliku stabiilsuse, täpsuse ja vibratsioonikindluse, parandab see lõppkokkuvõttes lõpptoote kvaliteeti. Seetõttu on graniidist aluspinna kasutamine pooljuhtseadmetes kindlasti jätkuv ka edaspidi.
Postituse aeg: 03.04.2024