Pooljuhtide tootmise täpses ahelas on vahvli ülekandesüsteem nagu "kiibi tootmisliini päästerõngas" ning selle stabiilsus ja täpsus määravad otseselt kiipide saagikuse määra. Uue põlvkonna vahvli ülekandesüsteemid ühendavad revolutsiooniliselt lineaarmootorid graniidist alustega ning graniidist materjalide ainulaadsed eelised on just see põhikood, mis avab suure jõudlusega ülekande.
Graniitalus: stabiilse ülekande jaoks "kaljukindla aluse" loomine
Graniit, mis on läbinud sadu miljoneid aastaid geoloogilist rafineerimist, iseloomustab tihedat ja ühtlast sisemist mineraalkristallisatsiooni. See looduslik omadus teeb sellest ideaalse alusmaterjali pooljuhtide puhasruumide jaoks. Pooljuhtide puhasruumide keerulises keskkonnas suudab graniit oma ülimadala soojuspaisumisteguriga (ainult 5–7 × 10⁻⁶/℃) vastu pidada seadmete töötamise ajal tekkivale kuumusele ja keskkonnatemperatuuri muutuste mõjule, tagades alussuuruse stabiilsuse ja vältides termilisest deformatsioonist tingitud ülekandetee kõrvalekallet. Selle silmapaistev vibratsioonisummutusvõime suudab kiiresti absorbeerida lineaarmootorite käivitamisel, seiskamisel ja kiirendamisel tekkivad mehaanilised vibratsioonid, samuti töökojas teiste seadmete töötamisest tulenevad välised häired, pakkudes stabiilset platvormi "nullvärinaga" pooljuhtide ülekandeks.
Samal ajal tagab graniidi keemiline stabiilsus, et see ei korrodeeru ega roosteta pooljuhtide töökodades, kus happelised ja leeliselised reagendid on lenduvad ja nõutakse suurt puhtust, vältides seega materjali vananemise või saasteainete adsorptsiooni mõju ülekande täpsusele. Sile ja tihe pind vähendab tolmu kleepumist tõhusamalt, vastates puhaste ruumide rangetele tolmuvabadele standarditele ja kõrvaldades kiipide juurest saastumise ohu.
Lineaarmootorite ja graniidi "kuldse partnerluse" efekt
Lineaarmootorid, millel puudub mehaanilise ülekande kliirens, on suure kiirenduse ja suure reageerimiskiirusega, annavad kiibiülekandele eelised nagu "kiire, täpne ja stabiilne". Graniitalus pakub sellele kindlat ja usaldusväärset tugiplatvormi. Need kaks töötavad koos, et saavutada jõudluse hüpe. Kui lineaarmootor paneb kiibikandja graniidist alusrajal liikuma, tagavad aluse tugev jäikus ja stabiilsus mootori liikumapaneva jõu tõhusa ülekande, vältides aluse deformatsioonist tingitud jõukadu või ülekande viivitust.
Nanoskaala täpsuse nõudluse tõttu suudavad lineaarmootorid saavutada submikronilise nihke juhtimise. Graniitaluste ülitäpsed töötlemisomadused (tasasusvead ±1 μm piires) vastavad ideaalselt lineaarmootorite täpsele juhtimisele, tagades ühiselt, et positsioneerimisviga kiipide edastamisel on väiksem kui ±5 μm. Olenemata sellest, kas tegemist on kiire ümberlülitamisega erinevate protsessiseadmete vahel või täpse parkimisega kiipide üleandmiseks, saab lineaarmootorite ja graniitaluste kombinatsioon tagada kiipide edastamisel "nullhälbe ja nullvärina".
Tööstuspraktika kinnitus: efektiivsuse ja tootluse kahekordne paranemine
Pärast oma kiipide ülekandesüsteemi täiustamist võttis juhtiv ülemaailmne pooljuhtide ettevõte kasutusele lineaarmootori ja graniidist aluse lahenduse, mis suurendas kiipide ülekande efektiivsust 40%, vähendas ülekandeprotsessi ajal esinevate vigade (nt kokkupõrked ja nihked) esinemissagedust 85% ning parandas kiipide üldist saagikust 6%. Andmete taga peitub graniidist aluse pakutav ülekande stabiilsuse garantii ja lineaarmootori kiire ja täpne sünergiaefekt, mis vähendab oluliselt kiipide ülekandeprotsessi kadusid ja vigu.
Materjali omadustest täppisvalmistamiseni, jõudluse eelistest praktilise kontrollini – lineaarmootorite ja graniidist aluste kombinatsioon on muutnud kiipide ülekandesüsteemide standardeid. Tulevikus, kui pooljuhtide tehnoloogia areneb 3nm ja 2nm protsesside suunas, annavad graniidist materjalid oma asendamatute eelistega kindlasti tööstuse arengule tugeva tõuke.
Postituse aeg: 14. mai 2025