Graniit on kõva kivimi tüüp, millest on saanud pooljuhtide tootmistööstuses asendamatu materjal. Selle omadused võimaldavad tal taluda kõrgeid temperatuure, mis teeb selle ideaalseks kasutamiseks pooljuhtseadmete tootmisprotsesside erinevates etappides. Seetõttu on graniidist montaaž leidnud laialdasi rakendusi pooljuhtide tootmisprotsessi seadmete toodetes.
Üks graniidist montaaži enimkasutatavaid rakendusi on ülitäpsete tööpinkide konstruktsioonide ehitamine. Graniidi jäikus ja stabiilsus võimaldavad toota täpseid ja korrektseid tööriistu vähese või olematu deformatsiooniga. Selline täpsus on vajalik pooljuhtide tootmisprotsessides, näiteks ioonimplantatsioonis, kus kiir tuleb täpselt vahvlile suunata.
Teine graniidist montaaži rakendus pooljuhtide tootmises on metroloogiaseadmete ehitus. Metroloogiaseadmed on pooljuhtide tootmisprotsessides üliolulised, kuna need mõõdavad ja kontrollivad toodetavate seadmete täpsust. Graniidi mõõtmete stabiilsus, väike soojuspaisumine ja suurepärased vibratsioonisummutusomadused teevad sellest metroloogiaseadmete ehitamisel eelistatud materjali. See hõlmab suuri graniidist pindu, mida kasutatakse vahvlite lavastamisel ja kontrollimisel.
Optilised lauad on veel üks graniidist montaaži laialdase rakenduse valdkond pooljuhtide tööstuses. Optilisi laudu kasutatakse optiliste seadmete, näiteks andmeside lainejuhtide testimisel. Graniidi tasasus, väike soojuspaisumine, suur jäikus ja mehaaniline stabiilsus võimaldavad sellel pakkuda optika paigaldamiseks ja positsioneerimiseks väga stabiilset pinda. Graniidist optilised lauad võivad pakkuda optiliste seadmete täpseks ja korrektseks testimiseks vajalikku stabiilsust ja jäikust.
Graniiti kasutatakse ka pooljuhtide kiipide padrunite ja astmete ehitamisel. Pooljuhtide tootmisprotsessi käigus on täpne joondamine ja positsioonikontroll üliolulised. Kiipide padrunid, mis hoiavad plaate töötlemise ajal paigal, peavad säilitama positsioonitäpsuse, taludes samal ajal kõrgeid temperatuure ja vaakumtingimusi. Graniidil on suurepärane mõõtmete stabiilsus laias temperatuurivahemikus ja see talub vaakumtingimusi, mistõttu on see ideaalne kiipide padrunite ehitamiseks. Pooljuhtide tootmisprotsessi käigus läbivad pooljuhtide liikumiseks kasutatavad astmed tsüklilise liikumisjada. Graniidi kokkupanek tagab stabiilsuse ja vastupidavuse, mis on vajalik pidevate ja korduvate liikumistsüklite talumiseks.
Kokkuvõttes on graniidist montaaži rakendamine pooljuhtide tootmistööstuses lai. Selle omadused, nagu mõõtmete stabiilsus, väike soojuspaisumine, kõrge jäikus ja vibratsioonisummutus, muudavad selle ideaalseks materjaliks pooljuhtseadmete tootmisprotsesside erinevates etappides. Alates ülitäpsete tööpinkide ja metroloogiaseadmete ehitamisest kuni optiliste laudade ja kiibilavade ja padruniteni mängivad graniidi omadused olulist rolli stabiilsuse, täpsuse ja korduvuse tagamisel, mis on vajalikud kvaliteetsete pooljuhtseadmete tootmiseks.
Postituse aeg: 06. detsember 2023