Pooljuhtide tootmine: Kiibi tootmisprotsessis on fotolitograafiaprotsessis vaja vooluringi mustrit täpselt vahvlile üle kanda. Üheteljelise õhuga ujuva ülitäpse liikumismooduli graniidist alus tagab litograafiaseadmetes vahvlilaua suure täpsuse ja stabiilse toe. Näiteks ASML ja teised rahvusvaheliselt tunnustatud litograafiamasinate tootjad kasutavad oma tipptasemel seadmetes graniidist alusega õhuga ujuvaid liikumismooduleid, mis suudavad kontrollida vahvli positsioneerimistäpsust nanomeetri tasemel, et tagada litograafiamustri täpsus, parandades seeläbi kiibi integreerimist ja jõudlust.
Täppismõõtmise valdkond: CMM on tööstuslikus tootmises tavaliselt kasutatav täppismõõteseade, mida kasutatakse tooriku suuruse, kuju ja asukoha täpsuse mõõtmiseks. Graniitalusel asuva ühelteljelise õhuujuki ülitäpne liikumismoodul saab olla CMM-i liikumisplatvorm, mis võimaldab saavutada ülitäpse lineaarse liikumise ja tagada mõõtesondile stabiilse liikumistrajektoori. Näiteks Hexagoni tipptasemel CMM kasutab seda kombinatsiooni suurte ja keerukate osade mõõtmiseks kuni mikroni täpsusega, pakkudes tugevat garantiid osade kvaliteedikontrolliks autotööstuses, lennunduses ja muudes tööstusharudes.
Lennundusvaldkond: Lennundusdetailide töötlemisel ja testimisel on vaja suurt täpsust. Näiteks lennukimootori labade töötlemine nõuab tööriista liikumistrajektoori täpset juhtimist, et tagada laba profiili täpsus. Üheteljelise õhuujukiga ülitäpse liikumismooduli graniidist alust saab rakendada viieteljelisele töötlemiskeskusele ja muudele seadmetele, et tagada tööriista ülitäpne liikumise juhtimine ja tagada, et laba töötlemise täpsus vastaks projekteerimisnõuetele. Samal ajal on lennukimootori kokkupanekuprotsessis vaja kasutada ka ülitäpseid mõõteseadmeid, et tuvastada osade kokkupaneku täpsust. Graniidist aluse õhuujukiga liikumismoodul pakub mõõteseadmetele stabiilset tuge ja täpset liikumist, et tagada kokkupaneku kvaliteet.
Optiline kontrollivaldkond: Optiliste komponentide tootmis- ja testimisprotsessis on vaja teostada optiliste komponentide ülitäpne positsioneerimine ja mõõtmine. Näiteks peeglite ja läätsede sarnaste ülitäpsete optiliste komponentide tootmisel on vaja kasutada interferomeetreid ja muid seadmeid pinna kuju täpsuse tuvastamiseks. Üheteljelise õhus hõljuva ülitäpse liikumismooduli graniidist alust saab kasutada interferomeetri liikumisplatvormina, mis võimaldab saavutada submikronilise positsioneerimistäpsuse ja pakkuda optiliste komponentide tuvastamiseks täpset andmetuge. Lisaks on lasertöötlusseadmetes vaja kasutada ka ülitäpset liikumisplatvormi laserkiire skaneerimistrajektoori juhtimiseks, õhus hõljuva liikumismooduli graniidist alus suudab selle nõude täita, et saavutada ülitäpne lasertöötlus.
Postituse aeg: 07.04.2025