Graniidist komponente on pooljuhtide tootmisprotsessis laialdaselt kasutatud tänu nende suurepärastele omadustele nagu parem pinnaviimistlus, kõrge jäikus ja suurepärane vibratsiooni summutamine. Graniidist komponendid on olulised pooljuhtide valmistamisseadmete jaoks, sealhulgas litograafiamasinad, poleerimismasinad ja metroloogiasüsteemid, kuna need pakuvad tootmisprotsessi ajal täpset positsioneerimist ja stabiilsust. Hoolimata kõigist graniidikomponentide kasutamise eelistest, on neil ka puudusi. Selles artiklis käsitleme pooljuhtide tootmisprotsessi toodete graniidist komponentide puudusi.
Esiteks on graniidist komponentidel kõrge soojuspaisumistegur. See tähendab, et need laienevad oluliselt termilise stressi all, mis võib tootmisprotsessi ajal probleeme põhjustada. Pooljuhtide tootmisprotsess nõuab suurt täpsust ja mõõtmete täpsust, mida võib termilise stressi tõttu kahjustada. Näiteks võib soojuspaisumisest tingitud räni vahvli deformatsioon põhjustada litograafia ajal joondamisprobleeme, mis võib kahjustada pooljuhtide seadme kvaliteeti.
Teiseks on graniidist komponentidel poorsuse defektid, mis võivad pooljuhtide tootmisprotsessis põhjustada vaakumlekke. Õhu või muu gaasi olemasolu süsteemis võib põhjustada saastumist vahvli pinnal, mille tulemuseks on defektid, mis võivad mõjutada pooljuhtide seadme jõudlust. Iinertgaasid nagu argoon ja heelium võivad imbuda poorsetesse graniidist komponentidesse ja luua gaasimullid, mis võivad häirida vaakumiprotsessi terviklikkust.
Kolmandaks, graniidist komponentidel on mikrofraktsioonid, mis võivad häirida tootmisprotsessi täpsust. Graniit on rabe materjal, mis võib aja jooksul tekitada mikrofrakte, eriti kui need on kokku puutunud konstantse stressitsükliga. Mikrofraktsioonide olemasolu võib põhjustada mõõtmete ebastabiilsust, põhjustades tootmisprotsessi ajal olulisi probleeme, näiteks litograafia joondamine või vahvli poleerimine.
Neljandaks, graniidist komponentidel on piiratud paindlikkus. Pooljuhtide tootmisprotsess nõuab painduvaid seadmeid, mis sobivad erinevate protsessimuudatustega. Graniidist komponendid on aga jäigad ja ei saa kohaneda erinevate protsessimuutustega. Seetõttu nõuavad mis tahes muutused tootmisprotsessis graniidist komponentide eemaldamist või asendamist, mis põhjustab seisakuid ja mõjutavad tootlikkust.
Viiendaks, graniidist komponendid vajavad nende kaalu ja hapruse tõttu spetsiaalset käitlemist ja transporti. Graniit on tihe ja raske materjal, mis nõuab spetsiaalseid käitlemisseadmeid, näiteks kraanad ja tõstjad. Lisaks vajavad graniidist komponendid saatmise ajal kahjustuste vältimiseks hoolikat pakkimist ja transportimist, mis põhjustab lisakulusid ja aega.
Kokkuvõtteks võib öelda, et graniidist komponentidel on mõned puudused, mis võivad mõjutada pooljuhtide tootmisprotsesside toodete kvaliteeti ja tootlikkust. Neid defekte saab minimeerida graniidist komponentide hoolika käitlemise ja säilitamise kaudu, sealhulgas mikrofraktsioonide ja poorsuse defektide perioodilise kontrolli, saastumise vältimiseks korraliku puhastamise ja transpordi ajal hoolika käitlemise eest. Vaatamata defektidele on graniidist komponendid pooljuhtide tootmisprotsessi oluliseks osaks tänu nende paremale pinnaviimistlusele, kõrgele jäikusele ja suurepärasele vibratsiooni summutusele.
Postiaeg: detsember 05-2023