Graniitkomponente on pooljuhtide tootmisprotsessis laialdaselt kasutatud tänu nende suurepärastele omadustele, nagu suurepärane pinnaviimistlus, kõrge jäikus ja suurepärane vibratsioonisummutus.Graniitkomponendid on pooljuhtide valmistamise seadmete, sealhulgas litograafiamasinate, poleerimismasinate ja metroloogiasüsteemide jaoks hädavajalikud, kuna need tagavad tootmisprotsessi ajal täpse positsioneerimise ja stabiilsuse.Vaatamata kõigile graniitkomponentide kasutamise eelistele on neil ka defekte.Selles artiklis käsitleme pooljuhtide tootmisprotsessi toodete graniidikomponentide defekte.
Esiteks on graniidist komponentidel kõrge soojuspaisumistegur.See tähendab, et need laienevad oluliselt termilise pinge all, mis võib tootmisprotsessi käigus probleeme tekitada.Pooljuhtide tootmisprotsess nõuab suurt täpsust ja mõõtmete täpsust, mida termiline pinge võib kahjustada.Näiteks võib soojuspaisumisest tingitud räniplaadi deformatsioon litograafia ajal põhjustada joondusprobleeme, mis võib kahjustada pooljuhtseadme kvaliteeti.
Teiseks on graniidikomponentidel poorsusdefektid, mis võivad pooljuhtide tootmisprotsessis põhjustada vaakumilekkeid.Õhu või mõne muu gaasi olemasolu süsteemis võib põhjustada vahvli pinna saastumist, mille tulemuseks on defektid, mis võivad mõjutada pooljuhtseadme jõudlust.Inertgaasid, nagu argoon ja heelium, võivad imbuda poorsetesse graniidikomponentidesse ja tekitada gaasimulle, mis võivad häirida vaakumprotsessi terviklikkust.
Kolmandaks on graniidist osadel mikromurrud, mis võivad häirida tootmisprotsessi täpsust.Graniit on habras materjal, milles võivad aja jooksul tekkida mikromurrud, eriti kui see puutub kokku pidevate pingetsüklitega.Mikromurdude olemasolu võib põhjustada mõõtmete ebastabiilsust, põhjustades tootmisprotsessis olulisi probleeme, nagu litograafia joondamine või vahvli poleerimine.
Neljandaks on graniidist komponentide paindlikkus piiratud.Pooljuhtide tootmisprotsess nõuab paindlikke seadmeid, mis suudavad kohaneda erinevate protsessimuutustega.Graniitkomponendid on aga jäigad ega suuda kohaneda erinevate protsessimuutustega.Seetõttu nõuavad kõik muudatused tootmisprotsessis graniidikomponentide eemaldamist või asendamist, mis põhjustab seisakuid ja mõjutab tootlikkust.
Viiendaks, graniidist komponendid vajavad oma kaalu ja hapruse tõttu erilist käsitsemist ja transportimist.Graniit on tihe ja raske materjal, mis nõuab spetsiaalseid käsitsemisseadmeid, nagu kraanad ja tõstukid.Lisaks vajavad graniidikomponendid hoolikat pakkimist ja transportimist, et vältida kahjustusi saatmise ajal, mis toob kaasa lisakulusid ja aega.
Kokkuvõtteks võib öelda, et graniidist komponentidel on mõned puudused, mis võivad mõjutada pooljuhtide tootmisprotsessi toodete kvaliteeti ja tootlikkust.Neid defekte saab minimeerida graniidikomponentide hoolika käsitsemise ja hooldamisega, sealhulgas mikromurdude ja poorsusdefektide perioodilise kontrollimise, saastumise vältimiseks nõuetekohase puhastamise ja hoolika käsitsemisega transportimise ajal.Vaatamata defektidele jäävad graniidist komponendid pooljuhtide tootmisprotsessi oluliseks osaks tänu nende suurepärasele pinnaviimistlusele, suurele jäikusele ja suurepärasele vibratsioonisummutusvõimele.
Postitusaeg: 05. detsember 2023