Graniitkomponente on pooljuhtide tootmisprotsessis laialdaselt kasutatud tänu nende suurepärastele omadustele, nagu suurepärane pinnaviimistlus, kõrge jäikus ja suurepärane vibratsioonisummutus. Graniitkomponendid on pooljuhtide tootmisseadmete, sealhulgas litograafiamasinate, poleerimismasinate ja metroloogiasüsteemide jaoks hädavajalikud, kuna need tagavad tootmisprotsessi ajal täpse positsioneerimise ja stabiilsuse. Vaatamata graniidist komponentide kasutamise kõigile eelistele on neil ka defekte. Selles artiklis käsitleme pooljuhtide tootmisprotsessi toodete graniidist komponentide defekte.
Esiteks on graniidist komponentidel kõrge soojuspaisumistegur. See tähendab, et need paisuvad termilise pinge all märkimisväärselt, mis võib tootmisprotsessi ajal probleeme tekitada. Pooljuhtide tootmisprotsess nõuab suurt täpsust ja mõõtmete täpsust, mida termiline pinge võib kahjustada. Näiteks räniplaadi deformatsioon termilise paisumise tõttu võib litograafia ajal põhjustada joondamisprobleeme, mis võib kahjustada pooljuhtseadme kvaliteeti.
Teiseks, graniidist komponentidel on poorsuse defektid, mis võivad pooljuhtide tootmisprotsessis põhjustada vaakumlekkeid. Õhu või mis tahes muu gaasi olemasolu süsteemis võib põhjustada kiibi pinna saastumist, mille tulemuseks on defektid, mis võivad mõjutada pooljuhtseadme jõudlust. Inertgaasid, nagu argoon ja heelium, võivad imbuda poorsetesse graniidist komponentidesse ja tekitada gaasimulle, mis võivad häirida vaakumprotsessi terviklikkust.
Kolmandaks, graniidist komponentidel on mikropraod, mis võivad häirida tootmisprotsessi täpsust. Graniit on habras materjal, mis võib aja jooksul tekitada mikropragusid, eriti pidevate pingetsüklite korral. Mikropragude olemasolu võib põhjustada mõõtmete ebastabiilsust, mis põhjustab tootmisprotsessi ajal olulisi probleeme, näiteks litograafia joondamisel või vahvlite poleerimisel.
Neljandaks, graniidist komponentidel on piiratud paindlikkus. Pooljuhtide tootmisprotsess nõuab paindlikke seadmeid, mis suudaksid kohanduda erinevate protsessimuudatustega. Graniidist komponendid on aga jäigad ega suuda erinevate protsessimuudatustega kohaneda. Seetõttu nõuavad kõik tootmisprotsessi muudatused graniidist komponentide eemaldamist või asendamist, mis toob kaasa seisakuid ja mõjutab tootlikkust.
Viiendaks, graniidist komponendid vajavad oma kaalu ja hapruse tõttu erilist käitlemist ja transporti. Graniit on tihe ja raske materjal, mis nõuab spetsiaalseid käitlemisseadmeid, näiteks kraanasid ja tõstukeid. Lisaks vajavad graniidist komponendid hoolikat pakendamist ja transporti, et vältida kahjustusi transportimise ajal, mis toob kaasa lisakulusid ja -aega.
Kokkuvõtteks võib öelda, et graniidist komponentidel on mõningaid puudusi, mis võivad mõjutada pooljuhtide tootmisprotsessi toodete kvaliteeti ja tootlikkust. Neid defekte saab minimeerida graniidist komponentide hoolika käitlemise ja hooldamise abil, sealhulgas perioodilise mikropragude ja poorsuse defektide kontrollimise, nõuetekohase puhastamise abil saastumise vältimiseks ning hoolika käitlemise abil transportimise ajal. Vaatamata defektidele jäävad graniidist komponendid pooljuhtide tootmisprotsessi oluliseks osaks tänu oma suurepärasele pinnaviimistlusele, suurele jäikusele ja suurepärasele vibratsioonisummutusele.
Postituse aeg: 05. detsember 2023