Tipptasemel tootmise ja tipptasemel teadusuuringute valdkonnas on täppis-staatilise rõhuga õhuga ujuv liikumisplatvorm ülitäpse töö saavutamiseks võtmeseade. Graniidist täppisalus on platvormi põhiline tugiosa ja selle jõudlus on tihedalt seotud töökeskkonnaga. Nende keskkonnanõuete mõistmine ja täitmine tagab mitte ainult platvormi ülitäpse töö, vaid on ka oluline osa ettevõtte konkurentsivõime suurendamisel seotud valdkondades, mida on allpool üksikasjalikult kirjeldatud.
1. Temperatuur: täpne kontroll mõõtmete stabiilsuse tagamiseks
Kuigi graniit on tuntud oma stabiilsuse poolest, ei ole selle soojuspaisumistegur null ja väikesed temperatuurimuutused võivad siiski mõjutada selle mõõtmete täpsust. Üldiselt on graniidi soojuspaisumistegur 5-7 × 10⁻⁶/℃. Täppis-staatilise rõhuga õhuga ujuva liikumisplatvormi rakendusstsenaariumis võimendub platvorm seda väikest muutust, mis võib viia liikumistäpsuse hälbeni. Näiteks pooljuhtkiibi tootmisprotsessis, litograafiaprotsessis, mille positsioneerimistäpsuse nõuded on danami tasemel, võib ümbritseva õhu temperatuuri kõikumine 1 °C. 1-meetrise graniidist aluse küljepikkus võib tekitada 5-7 mikroni lineaarset paisumist või kokkutõmbumist, mis on piisav, et kiibi litograafia mustri hälve vähendada ja saagikust vähendada. Seetõttu peaks graniidist täppisalusega varustatud täppis-staatilise rõhuga õhuga ujuva platvormi ideaalne töökeskkonna temperatuur olema rangelt kontrollitud 20 °C ±1 °C juures. Ettevõtted saavad paigaldada ülitäpse konstantse temperatuuriga kliimaseadme, jälgida ja täpselt reguleerida ümbritseva õhu temperatuuri, säilitada graniidist aluse suuruse stabiilsust, et tagada platvormi ülitäpne töö.
2. niiskus: mõistlik kontroll, kaitseb baasjõudlust
Niiskus mõjutab oluliselt ka täppisgraniidist aluspindu. Kõrge õhuniiskusega keskkonnas imab graniit kergesti veeauru ja pinnale võib tekkida kondensaat, mis mitte ainult ei häiri õhuujuksüsteemi normaalset tööd, vaid põhjustab ka graniidi pinna pikaajalist erosiooni, vähendades selle täpsust ja kasutusiga. Näiteks optilise läätse lihvimise töökojas, kui õhuniiskus on pikka aega üle 60% suhtelise õhuniiskuse, hävitab graniidist aluse pinnale adsorbeerunud veeaur õhuujukkile ühtluse, mille tulemuseks on läätse lihvimise täpsuse vähenemine ja pinnadefektid. Seetõttu tuleb töökeskkonna suhtelist õhuniiskust reguleerida vahemikus 40–60%. Ettevõtted saavad kasutada õhukuivateid, niiskusandureid ja muid seadmeid niiskuse reaalajas jälgimiseks ja juhtimiseks, täppisgraniidist alusele sobiva niiskuskeskkonna loomiseks ning täppis-staatilise rõhu õhuujukliikumisplatvormi stabiilse töö tagamiseks.
3. puhtus: kontrollige rangelt, kõrvaldage osakeste sekkumine
Tolmuosakesed on täppis-staatilise rõhu õhuga ujuva liikumisplatvormi "vaenlane" ja tekitavad graniidist täppisalusele suurt kahju. Kui pisikesed osakesed sisenevad gaasikile pilusse gaasikile liuguri ja graniidist aluse vahel, võivad need hävitada gaasikile ühtluse, suurendada hõõrdumist ja isegi kriimustada aluse pinda, mõjutades tõsiselt platvormi liikumise täpsust. Lennundusdetailide ülitäpse töötlemise töökojas võib õhus olevate tolmuosakeste graniidist alusele langemine töötlemisriista liikumistrajektoorist kõrvale kalduda, mis mõjutab osade töötlemise täpsust. Seetõttu tuleks tööpiirkonda hoida väga puhtana ja saavutada puhtusstandard 10 000 või isegi kõrgem. Ettevõtted saavad õhus olevaid tolmuosakesi filtreerida, paigaldades suure tõhususega õhufiltrid (HEPA) ja nõudes töötajatelt tolmuvabade riiete, kingakatete jms kandmist, et vähendada inimeste poolt tekitatud tolmu ja säilitada graniidist aluse ja täppis-staatilise rõhu õhuga ujuva liikumisplatvormi ülitäpne töökeskkond.
4. Vibratsioon: Tõhus isolatsioon sujuva ruumi loomiseks
Väline vibratsioon häirib tõsiselt täppis-staatilise rõhu õhuujuvplatvormi täpsust. Kuigi täppis-graniidist alusel on teatav vibratsiooni summutamise võime, võib tugev vibratsioon siiski oma puhverpiiri ületada. Tehase ümbruses liikluse ja suurte mehaaniliste seadmete töö tekitatud vibratsioon kandub maapinna kaudu graniidist alusele, mis häirib platvormi liikumise täpsust. Tipptasemel CMM-is võib vibratsioon põhjustada ebastabiilset kontakti mõõtepea ja mõõdetava tooriku vahel, mille tulemuseks on mõõtmisandmete hälve. Selle probleemi lahendamiseks on vaja võtta tõhusaid vibratsiooni isoleerimise meetmeid, näiteks vibratsiooni isoleerivate patjade paigaldamine seadmete paigalduskohta, vibratsiooni isoleeriva aluse ehitamine või aktiivse vibratsiooni isoleerimise süsteemi kasutamine välise vibratsiooni aktiivseks kompenseerimiseks ning vaikse ja stabiilse töökeskkonna loomine graniidist täppisaluse ja täppis-staatilise rõhu õhuujuvplatvormi jaoks.
Täpse staatilise rõhuga õhuga ujuva liikumisplatvormi graniidist täppisbaasi eeliste täielikuks ärakasutamiseks tuleb täita ülaltoodud keskkonnanõuded, et tagada platvormi suure täpsuse ja stabiilsusega liikumisjuhtimise teenuste pakkumine erinevatele tööstusharudele. Kui ettevõtted suudavad tootmiskeskkonnas neile detailidele tähelepanu pöörata, saavad nad kasutada täppistootmise, teadusuuringute ja muude valdkondade võimalusi, suurendada oma konkurentsivõimet ja saavutada säästva arengu.
Postituse aeg: 10. aprill 2025