Graniiti on pooljuhtseadmete tootmisel ja disainimisel laialdaselt kasutatud juba aastaid. See on tingitud selle suurepärastest omadustest, mis muudavad selle ideaalseks materjaliks paljude rakenduste jaoks. Graniit on väga vastupidav kulumisele, korrosioonile ja termilistele šokkidele, mistõttu sobib see kasutamiseks karmides keskkondades. Selles artiklis käsitleme graniidi mõningaid levinumaid rakendusi pooljuhtseadmetes.
1. Metroloogiaseadmed
Metroloogiaseadmeid kasutatakse pooljuhtseadiste mõõtmete ja omaduste mõõtmiseks. Graniiti kasutatakse selliste seadmete alusena sageli oma kõrge mõõtmete stabiilsuse tõttu. Graniidi pinna tasasus ja täpsus pakuvad ideaalset võrdluspinda täpsete mõõtmiste tegemiseks. Lisaks vähendab graniidi termiline stabiilsus temperatuurikõikumiste tõttu mõõtmete muutuste ohtu.
2. Optilised seadmed
Graniiti kasutatakse ka optilistes seadmetes, näiteks litograafiamasinates, mida kasutatakse pooljuhtseadmete valmistamisel. Graniidist alus pakub stabiilset platvormi nendes masinates kasutatavale ülitäpsele optikale. Graniidi suurepärased vibratsioonisummutusomadused aitavad vähendada ka vibratsiooni, mis võib mõjutada optika jõudlust ja täpsust.
3. Vahvlite töötlemise seadmed
Pooljuhtplaatide töötlemine hõlmab mitut etappi, sealhulgas puhastamist, söövitamist ja sadestamist. Graniiti kasutatakse plaatide töötlemise seadmete mitmes komponendis. Näiteks kasutatakse graniiti keemilise aurustamise (CVD) seadmete substraadina, mida kasutatakse õhukeste kilede sadestamiseks räniplaatidele. Graniiti kasutatakse ka söövituskambrite ja muude protsessimahutite ehitamisel, kus selle suurepärane keemiline vastupidavus ja mõõtmete stabiilsus on olulised.
4. Katseseadmed
Pooljuhtseadiste toimivuse ja kvaliteedi kontrollimiseks kasutatakse katseseadmeid. Graniiti kasutatakse sageli katseseadmete alusena selle suure jäikuse ja stabiilsuse tõttu. Graniit pakub mittemagnetilist ja mittejuhtivat platvormi, mis välistab tundlike katseseadmetega seotud häired. Graniidi pinna tasasus ja täpsus võimaldavad saada väga täpseid katsetulemusi.
Kokkuvõte
Kokkuvõtteks võib öelda, et graniit on oluline materjal pooljuhtseadmete projekteerimisel ja tootmisel. Selle suurepärased omadused, sealhulgas mõõtmete stabiilsus, termiline stabiilsus, keemiline vastupidavus ja vibratsioonisummutus, muudavad selle ideaalseks materjaliks paljude rakenduste jaoks. Graniiti kasutatakse mitmetes pooljuhtseadmete kriitilistes komponentides, sealhulgas metroloogiaseadmetes, optikaseadmetes, kiipide töötlemise seadmetes ja katseseadmetes. Kuna nõudlus kiiremate, väiksemate ja võimsamate pooljuhtseadmete järele kasvab jätkuvalt, jääb graniidi kasutamine pooljuhtseadmetes tõenäoliselt oluliseks.
Postituse aeg: 08.04.2024