Graniiti on aastaid laialdaselt kasutatud pooljuhtseadmete tootmisel ja kujundamisel. Selle põhjuseks on selle suurepärased omadused, mis muudavad selle paljude rakenduste jaoks ideaalseks materjaliks. Graniit on väga vastupidav kulumistele, korrosioonile ja termilistele šokkidele, mis muudab selle sobivaks kasutamiseks karmides keskkondades. Selles artiklis käsitleme mõnda graniidi levinud rakendust pooljuhtide seadmetes.
1. metroloogiaseadmed
Pooljuhtide seadmete mõõtmete ja omaduste mõõtmiseks kasutatakse metroloogiaseadmeid. Graniiti kasutatakse selliste seadmete alusena sageli selle kõrge mõõtme stabiilsuse tõttu. Graniidipinna tasasus ja täpsus annavad ideaalse viide täpseteks mõõtmisteks. Lisaks vähendab graniidi termiline stabiilsus temperatuuri variatsioonidest tingitud mõõtmete muutuste riski.
2. optilised seadmed
Graniiti kasutatakse ka optilistes seadmetes, näiteks litograafiamasinad, mida kasutatakse pooljuhtseadmete valmistamisel. Graniidi alus pakub stabiilset platvormi nendes masinates kasutatavate ülitäpsete optikate jaoks. Graniidi suurepärased vibratsiooni summutavad omadused aitavad vähendada ka vibratsiooni, mis võib mõjutada optika jõudlust ja täpsust.
3. vahvli töötlemise seadmed
Pooljuhtide vahvli töötlemine hõlmab mitmeid etappe, sealhulgas puhastamine, söövitus ja sadestumine. Graniiti kasutatakse vahvli töötlemise mitmes komponendis. Näiteks kasutatakse graniiti keemiliste aurude sadestumise (CVD) seadmete substraadina, mida kasutatakse õhukeste kilede hoiustamiseks räni vahvlitele. Graniiti kasutatakse ka söövituskambrite ja muude protsessianumate ehitamisel, kus selle suurepärane keemiline vastupidavus ja mõõtmete stabiilsus on hädavajalikud.
4. katseseadmed
Pooljuhtide seadmete jõudluse ja kvaliteedi kontrollimiseks kasutatakse katseseadmeid. Graniiti kasutatakse sageli katseseadmete alusena selle kõrge jäikuse ja stabiilsuse tõttu. Graniit pakub mittemagnetilist ja mittejuhtivat platvormi, mis välistab tundlike testimisseadmete sekkumise. Graniidipinna tasasus ja täpsus võimaldavad katsetulemusi väga täpseid.
Järeldus
Kokkuvõtteks võib öelda, et graniit on pooljuhtseadmete kujundamisel ja tootmisel oluline materjal. Selle suurepärased omadused, sealhulgas mõõtmete stabiilsus, termiline stabiilsus, keemiline vastupidavus ja vibratsiooni summutamine, muudavad selle ideaalseks materjaliks paljude rakenduste jaoks. Graniiti kasutatakse pooljuhtide seadmete mitmetes kriitilistes komponentides, sealhulgas metroloogiaseadmed, optilised seadmed, vahvli töötlemise seadmed ja katseseadmed. Kuna nõudlus kiiremate, väiksemate ja võimsamate pooljuhtseadmete järele kasvab, on graniidi kasutamine pooljuhtide seadmes tõenäoliselt hädavajalik.
Postiaeg: APR-08-2024