Graniiti on pooljuhtseadmete valmistamisel ja projekteerimisel laialdaselt kasutatud juba aastaid.Selle põhjuseks on selle suurepärased omadused, mis muudavad selle ideaalseks materjaliks paljudeks rakendusteks.Graniit on väga vastupidav kulumisele, korrosioonile ja termilistele löökidele, mistõttu sobib see kasutamiseks karmides keskkondades.Selles artiklis käsitleme mõningaid graniidi levinumaid rakendusi pooljuhtseadmetes.
1. Metroloogiaseadmed
Metroloogiaseadmeid kasutatakse pooljuhtseadmete mõõtmete ja omaduste mõõtmiseks.Graniiti kasutatakse sageli selliste seadmete alusena selle kõrge mõõtmete stabiilsuse tõttu.Graniitpinna tasasus ja täpsus annavad ideaalse võrdlusaluse täpsete mõõtmiste tegemiseks.Lisaks vähendab graniidi termiline stabiilsus temperatuurimuutuste tõttu mõõtmete muutumise ohtu.
2. Optilised seadmed
Graniiti kasutatakse ka optilistes seadmetes, nagu litograafiamasinad, mida kasutatakse pooljuhtseadmete valmistamisel.Graniitalus annab stabiilse platvormi nendes masinates kasutatavale ülitäpsele optikale.Graniidi suurepärased vibratsiooni summutavad omadused aitavad vähendada ka vibratsiooni, mis võib mõjutada optika jõudlust ja täpsust.
3. Vahvlite töötlemise seadmed
Pooljuhtplaatide töötlemine hõlmab mitut etappi, sealhulgas puhastamist, söövitamist ja sadestamist.Graniiti kasutatakse vahvlitöötlemisseadmete mitmes komponendis.Näiteks kasutatakse graniiti substraadina keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) seadmetes, mida kasutatakse õhukeste kilede sadestamiseks räniplaatidele.Graniiti kasutatakse ka söövituskambrite ja muude protsessianumate ehitamisel, kus selle suurepärane keemiline vastupidavus ja mõõtmete stabiilsus on olulised.
4. Testimisseadmed
Pooljuhtseadmete jõudluse ja kvaliteedi kontrollimiseks kasutatakse katseseadmeid.Graniiti kasutatakse selle suure jäikuse ja stabiilsuse tõttu sageli katseseadmete alusena.Graniit pakub mittemagnetilist ja mittejuhtivat platvormi, mis välistab tundlike testimisseadmete häired.Graniitpinna tasasus ja täpsus võimaldavad saada väga täpseid katsetulemusi.
Järeldus
Kokkuvõtteks võib öelda, et graniit on oluline materjal pooljuhtseadmete projekteerimisel ja valmistamisel.Selle suurepärased omadused, sealhulgas mõõtmete stabiilsus, termiline stabiilsus, keemiline vastupidavus ja vibratsiooni summutamine, muudavad selle ideaalseks materjaliks paljudeks rakendusteks.Graniiti kasutatakse mitmetes pooljuhtseadmete kriitilistes komponentides, sealhulgas metroloogiaseadmetes, optilistes seadmetes, vahvlite töötlemise seadmetes ja katseseadmetes.Kuna nõudlus kiiremate, väiksemate ja võimsamate pooljuhtseadmete järele kasvab jätkuvalt, jääb graniidi kasutamine pooljuhtseadmetes tõenäoliselt hädavajalikuks.
Postitusaeg: aprill-08-2024