Tehnoloogia kasvuga on graniidiosade kasutamine pooljuhtseadmetes muutunud üha populaarsemaks. Graniit on populaarne valik pooljuhtide töötlemistehnoloogias kasutamiseks selle paljude eeliste tõttu. Graniit on üks kõige raskemaid ja vastupidavamaid materjale, mis muudab selle ideaalseks kasutamiseks pooljuhtide töötlevas tööstuses. See on suurepärane soojusjuht ja sellel on väga madal soojuspaisumistegur, mis muudab selle ideaalseks kasutamiseks kõrge temperatuuriga rakendustes.
Pooljuhtide seadmetes asuvate graniidiosade töötlemistehnoloogia hõlmab mitmesuguseid tehnikaid ja protsesse. Olulisteks sammudeks on graniidipinna poleerimine, söövitamine ja puhastamine. Kasutatud töötlemistehnoloogia tüüp sõltub rakendusest ja kasutatava graniidi tüübist.
Poleerimine on pooljuhtide seadmetes graniidiosade töötlemisel kriitiline aspekt. Graniidi pinna poleerimine suurele siledusastmele aitab tagada, et vahvli töötlemise ajal ei kahjustata. See vähendab saastumise võimalusi osakeste või kriimustuste abil vahvli pinnal. Poleerimist saab saavutada mitmesuguste meetodite abil, näiteks mehaaniline poleerimine, keemiline poleerimine ja elektrokeemiline poleerimine.
Söövimine on pooljuhtide seadmetes graniidiosade töötlemise veel üks põhiaspekt. Söövimist kasutatakse graniidiosa pinnale soovitud mustrite loomiseks. Mustreid kasutatakse pooljuhtide vahvlite tootmisel ja töötlemisel. Söövitamiseks on mitmeid viise, sealhulgas plasma söövitus, niiske keemiline söövitus ja kuiv keemiline söövitus. Kasutatud söövitusprotsessi tüüp sõltub materjalist ja soovitud mustrist.
Samuti on kriitiline graniidipinna puhastamine. Puhastusprotsess on vajalik pinnalt saasteainete, näiteks osakeste ja muude lisandite eemaldamiseks, mis võivad häirida pooljuhtide tootmisprotsessi. Puhastamist saab teha mitmesuguseid meetodeid, näiteks ultraheli puhastamine, keemiline puhastamine või plasmapuhastus.
Kokkuvõtteks võib pooljuhtide tootmisprotsessis ülioluline roll graniidiosade töötlemistehnoloogia pooljuhtide valmistamisel. Graniidiosade kasutamine aitab parandada lõpptoote kvaliteeti ja usaldusväärsust. Töötlemistehnoloogia hõlmab graniidipinna poleerimist, söövitamist ja puhastamist. Iga etapi jaoks on saadaval erinevaid meetodeid ja kasutatud töötlemistehnoloogia tüüp sõltub materjalist ja soovitud mustrist. Õige töötlemistehnoloogia abil saab pooljuhtide tootmisprotsessi muuta tõhusamaks, usaldusväärsemaks ja kulutõhusamaks.
Postiaeg: 19. märts 20124