♦Alumiiniumoksiid (Al2O3)
ZhongHui Intelligent Manufacturing Groupi (ZHHIMG) toodetud täppiskeraamilised osad võivad olla valmistatud kõrge puhtusastmega keraamilistest toorainetest, 92–97% alumiiniumoksiidist, 99,5% alumiiniumoksiidist, >99,9% alumiiniumoksiidist ja CIP külmisostaatpressimisest. Kõrgtemperatuuriline paagutamine ja täppistöötlus, mõõtmete täpsus ± 0,001 mm, siledus kuni Ra0,1, kasutustemperatuur kuni 1600 kraadi. Vastavalt klientide nõuetele saab valmistada keraamikat erinevat värvi, näiteks: must, valge, beež, tumepunane jne. Meie ettevõtte toodetud täppiskeraamilised osad on vastupidavad kõrgele temperatuurile, korrosioonile, kulumisele ja isolatsioonile ning neid saab pikka aega kasutada kõrgel temperatuuril, vaakumis ja söövitavas gaasikeskkonnas.
Laialdaselt kasutatav erinevates pooljuhtide tootmisseadmetes: raamid (keraamiline kronstein), alus (alus), õlg/sild (manipulaator), mehaanilised komponendid ja keraamilised õhklaagrid.
Toote nimi | Kõrge puhtusastmega 99 alumiiniumoksiidi keraamiline ruudukujuline toru / toru / varras | |||||
Indeks | Ühik | 85% Al2O3 | 95% Al₂O₃ | 99% Al₂O₃ | 99,5% Al₂O₃ | |
Tihedus | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
Veeimavus | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Paagutatud temperatuur | ℃ | 1620. aasta | 1650. aasta | 1800. aasta | 1800. aasta | |
Kõvadus | Mohsi | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Paindetugevus (20 ℃)) | MPa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Survetugevus | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Pikaajaline töötemperatuur | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650. aasta | |
Maksimaalne töötemperatuur | ℃ | 1450 | 1600 | 1800. aasta | 1800. aasta | |
Mahu takistus | 20 ℃ | Ω cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100 ℃ | 1012–1013 | 1012–1013 | 1012–1013 | 1012–1013 | ||
300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidkeraamika pealekandmine:
1. Pooljuhtseadmetele rakendatav: keraamiline vaakumpadrun, lõikeketas, puhastusketas, keraamiline padrun.
2. Kiipide ülekandeosad: kiipide käsitsemise padrunid, kiipide lõikekettad, kiipide puhastuskettad, kiipide optilise kontrolli iminapad.
3. LED/LCD lameekraanekraanide tööstus: keraamiline otsik, keraamiline lihvketas, TÕSTETIPP, PIN-rööp.
4. Optiline side, päikeseenergia tööstus: keraamilised torud, keraamilised vardad, trükkplaadi siiditrüki keraamilised kaabitsad.
5. Kuumuskindlad ja elektriisolatsiooniga osad: keraamilised laagrid.
Praegu saab alumiiniumoksiidkeraamika jagada kõrge puhtusastmega ja tavaliseks keraamikaks. Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidkeraamika seeria viitab keraamilisele materjalile, mis sisaldab üle 99,9% Al₂O₃. Tänu oma paagutamistemperatuurile kuni 1650–1990 °C ja läbilaskvuslainepikkusele 1–6 μm töödeldakse seda tavaliselt plaatinatiigli asemel sulatatud klaasiks: seda saab valguse läbilaskvuse ja leelismetallide korrosioonikindluse tõttu kasutada naatriumtoruna. Elektroonikatööstuses saab seda kasutada IC-aluste kõrgsagedusliku isoleermaterjalina. Alumiiniumoksiidi erineva sisalduse järgi saab tavalise alumiiniumoksiidkeraamika seeria jagada 99 keraamikaks, 95 keraamikaks, 90 keraamikaks ja 85 keraamikaks. Mõnikord liigitatakse tavalise alumiiniumoksiidkeraamika seeriasse ka keraamika, mis sisaldab 80% või 75% alumiiniumoksiidi. Nende hulgas kasutatakse 99 alumiiniumoksiidkeraamilist materjali kõrge temperatuuriga tiiglite, tulekindlate ahjutorude ja spetsiaalsete kulumiskindlate materjalide, näiteks keraamiliste laagrite, keraamiliste tihendite ja ventiiliplaatide tootmiseks. 95 alumiiniumkeraamikat kasutatakse peamiselt korrosioonikindla kulumiskindla osana. 85 keraamikat segatakse sageli teatud omadustega, et parandada seeläbi elektrilist jõudlust ja mehaanilist tugevust. Selles saab kasutada molübdeeni, nioobiumi, tantaali ja muid metalltihendeid ning mõnda kasutatakse elektriliste vaakumseadmetena.
Kvaliteetne toode (esinduslik väärtus) | Toote nimi | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Keemiline koostis Madala naatriumisisaldusega kergesti paagutatav toode | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
Naljakas | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Keskmise osakese läbimõõt (MT-3300, laseranalüüsi meetod) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α kristalli suurus | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Moodustuv tihedus** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Paagutamise tihedus** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
Paagutusliini kahanemiskiirus** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO-d ei ole Al₂O₃ puhtuse arvutamisel arvesse võetud.
* Katlakivita pulber 29,4 MPa (300 kg/cm²), paagutamistemperatuur on 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Lisage 0,05–0,1% MgO, paagutuvus on suurepärane, seega sobib see alumiiniumoksiidkeraamikale puhtusega üle 99%.
AES-22S: Seda iseloomustab kõrge vormimistihedus ja paagutusliini madal kahanemiskiirus, mistõttu sobib see libiseva vormi valamiseks ja muudeks suuremahulisteks toodeteks, millel on vajalik mõõtmete täpsus.
AES-23 / AES-31-03: Sellel on suurem vormimistihedus, tiksotroopia ja madalam viskoossus kui AES-22S-l. Esimest kasutatakse keraamika puhul, teist aga tulekindlate materjalide veesisalduse vähendajana, mis on üha populaarsemaks muutumas.
♦Ränikarbiidi (SiC) omadused
Üldised omadused | Põhikomponentide puhtus (massiprotsent) | 97 | |
Värv | Must | ||
Tihedus (g/cm³) | 3.1 | ||
Veeimavus (%) | 0 | ||
Mehaanilised omadused | Paindetugevus (MPa) | 400 | |
Youngi moodul (GPa) | 400 | ||
Vickersi kõvadus (GPa) | 20 | ||
Termilised omadused | Maksimaalne töötemperatuur (°C) | 1600 | |
Soojuspaisumistegur | RT~500°C | 3.9 | |
(1/°C × 10⁻⁶) | RT~800°C | 4.3 | |
Soojusjuhtivus (W/m x K) | 130 110 | ||
Termiline löögikindlus ΔT (°C) | 300 | ||
Elektrilised omadused | Mahu takistus | 25°C | 3 x 106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Dielektriline konstant | 10 GHz | - | |
Dielektriline kadu (x 10-4) | - | ||
Q-tegur (× 104) | - | ||
Dielektriline läbilöögipinge (KV/mm) | - |
♦Räni nitriidkeraamika
Materjal | Ühik | Si₃N₄ |
Paagutamismeetod | - | Gaasirõhu paagutatud |
Tihedus | g/cm³ | 3.22 |
Värv | - | Tumehall |
Veeimavus | % | 0 |
Noor moodul | GPA | 290 |
Vickersi kõvadus | GPA | 18–20 |
Survetugevus | MPa | 2200 |
Paindetugevus | MPa | 650 |
Soojusjuhtivus | W/mK | 25 |
Termiline löögikindlus | Δ (°C) | 450–650 |
Maksimaalne töötemperatuur | °C | 1200 |
Mahu takistus | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Dielektriline konstant | - | 8.2 |
Dielektriline tugevus | kV/mm | 16 |