Materjal – keraamika

♦Alumiiniumoksiid (Al2O3)

ZhongHui Intelligent Manufacturing Groupi (ZHHIMG) toodetud täppiskeraamilised osad võivad olla valmistatud kõrge puhtusastmega keraamilistest toorainetest, 92–97% alumiiniumoksiidist, 99,5% alumiiniumoksiidist, >99,9% alumiiniumoksiidist ja CIP külmisostaatpressimisest. Kõrgtemperatuuriline paagutamine ja täppistöötlus, mõõtmete täpsus ± 0,001 mm, siledus kuni Ra0,1, kasutustemperatuur kuni 1600 kraadi. Vastavalt klientide nõuetele saab valmistada keraamikat erinevat värvi, näiteks: must, valge, beež, tumepunane jne. Meie ettevõtte toodetud täppiskeraamilised osad on vastupidavad kõrgele temperatuurile, korrosioonile, kulumisele ja isolatsioonile ning neid saab pikka aega kasutada kõrgel temperatuuril, vaakumis ja söövitavas gaasikeskkonnas.

Laialdaselt kasutatav erinevates pooljuhtide tootmisseadmetes: raamid (keraamiline kronstein), alus (alus), õlg/sild (manipulaator), mehaanilised komponendid ja keraamilised õhklaagrid.

AL2O3

Toote nimi Kõrge puhtusastmega 99 alumiiniumoksiidi keraamiline ruudukujuline toru / toru / varras
Indeks Ühik 85% Al2O3 95% Al₂O₃ 99% Al₂O₃ 99,5% Al₂O₃
Tihedus g/cm3 3.3 3.65 3.8 3.9
Veeimavus % <0,1 <0,1 0 0
Paagutatud temperatuur 1620. aasta 1650. aasta 1800. aasta 1800. aasta
Kõvadus Mohsi 7 9 9 9
Paindetugevus (20 ℃)) MPa 200 300 340 360
Survetugevus Kgf/cm2 10000 25000 30000 30000
Pikaajaline töötemperatuur 1350 1400 1600 1650. aasta
Maksimaalne töötemperatuur 1450 1600 1800. aasta 1800. aasta
Mahu takistus 20 ℃ Ω cm3 >1013 >1013 >1013 >1013
100 ℃ 1012–1013 1012–1013 1012–1013 1012–1013
300 ℃ >109 >1010 >1012 >1012

Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidkeraamika pealekandmine:
1. Pooljuhtseadmetele rakendatav: keraamiline vaakumpadrun, lõikeketas, puhastusketas, keraamiline padrun.
2. Kiipide ülekandeosad: kiipide käsitsemise padrunid, kiipide lõikekettad, kiipide puhastuskettad, kiipide optilise kontrolli iminapad.
3. LED/LCD lameekraanekraanide tööstus: keraamiline otsik, keraamiline lihvketas, TÕSTETIPP, PIN-rööp.
4. Optiline side, päikeseenergia tööstus: keraamilised torud, keraamilised vardad, trükkplaadi siiditrüki keraamilised kaabitsad.
5. Kuumuskindlad ja elektriisolatsiooniga osad: keraamilised laagrid.
Praegu saab alumiiniumoksiidkeraamika jagada kõrge puhtusastmega ja tavaliseks keraamikaks. Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidkeraamika seeria viitab keraamilisele materjalile, mis sisaldab üle 99,9% Al₂O₃. Tänu oma paagutamistemperatuurile kuni 1650–1990 °C ja läbilaskvuslainepikkusele 1–6 μm töödeldakse seda tavaliselt plaatinatiigli asemel sulatatud klaasiks: seda saab valguse läbilaskvuse ja leelismetallide korrosioonikindluse tõttu kasutada naatriumtoruna. Elektroonikatööstuses saab seda kasutada IC-aluste kõrgsagedusliku isoleermaterjalina. Alumiiniumoksiidi erineva sisalduse järgi saab tavalise alumiiniumoksiidkeraamika seeria jagada 99 keraamikaks, 95 keraamikaks, 90 keraamikaks ja 85 keraamikaks. Mõnikord liigitatakse tavalise alumiiniumoksiidkeraamika seeriasse ka keraamika, mis sisaldab 80% või 75% alumiiniumoksiidi. Nende hulgas kasutatakse 99 alumiiniumoksiidkeraamilist materjali kõrge temperatuuriga tiiglite, tulekindlate ahjutorude ja spetsiaalsete kulumiskindlate materjalide, näiteks keraamiliste laagrite, keraamiliste tihendite ja ventiiliplaatide tootmiseks. 95 alumiiniumkeraamikat kasutatakse peamiselt korrosioonikindla kulumiskindla osana. 85 keraamikat segatakse sageli teatud omadustega, et parandada seeläbi elektrilist jõudlust ja mehaanilist tugevust. Selles saab kasutada molübdeeni, nioobiumi, tantaali ja muid metalltihendeid ning mõnda kasutatakse elektriliste vaakumseadmetena.

 

Kvaliteetne toode (esinduslik väärtus) Toote nimi AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Keemiline koostis Madala naatriumisisaldusega kergesti paagutatav toode H₂O % 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Naljakas % 0,1 0,2 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂O % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0,11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9
Keskmise osakese läbimõõt (MT-3300, laseranalüüsi meetod) μm 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
α kristalli suurus μm 0,3 0,3 0,3 0,3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Moodustuv tihedus** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Paagutamise tihedus** g/cm³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Paagutusliini kahanemiskiirus** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO-d ei ole Al₂O₃ puhtuse arvutamisel arvesse võetud.
* Katlakivita pulber 29,4 MPa (300 kg/cm²), paagutamistemperatuur on 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Lisage 0,05–0,1% MgO, paagutuvus on suurepärane, seega sobib see alumiiniumoksiidkeraamikale puhtusega üle 99%.
AES-22S: Seda iseloomustab kõrge vormimistihedus ja paagutusliini madal kahanemiskiirus, mistõttu sobib see libiseva vormi valamiseks ja muudeks suuremahulisteks toodeteks, millel on vajalik mõõtmete täpsus.
AES-23 / AES-31-03: Sellel on suurem vormimistihedus, tiksotroopia ja madalam viskoossus kui AES-22S-l. Esimest kasutatakse keraamika puhul, teist aga tulekindlate materjalide veesisalduse vähendajana, mis on üha populaarsemaks muutumas.

♦Ränikarbiidi (SiC) omadused

Üldised omadused Põhikomponentide puhtus (massiprotsent) 97
Värv Must
Tihedus (g/cm³) 3.1
Veeimavus (%) 0
Mehaanilised omadused Paindetugevus (MPa) 400
Youngi moodul (GPa) 400
Vickersi kõvadus (GPa) 20
Termilised omadused Maksimaalne töötemperatuur (°C) 1600
Soojuspaisumistegur RT~500°C 3.9
(1/°C × 10⁻⁶) RT~800°C 4.3
Soojusjuhtivus (W/m x K) 130 110
Termiline löögikindlus ΔT (°C) 300
Elektrilised omadused Mahu takistus 25°C 3 x 106
300°C -
500°C -
800°C -
Dielektriline konstant 10 GHz -
Dielektriline kadu (x 10-4) -
Q-tegur (× 104) -
Dielektriline läbilöögipinge (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦Räni nitriidkeraamika

Materjal Ühik Si₃N₄
Paagutamismeetod - Gaasirõhu paagutatud
Tihedus g/cm³ 3.22
Värv - Tumehall
Veeimavus % 0
Noor moodul GPA 290
Vickersi kõvadus GPA 18–20
Survetugevus MPa 2200
Paindetugevus MPa 650
Soojusjuhtivus W/mK 25
Termiline löögikindlus Δ (°C) 450–650
Maksimaalne töötemperatuur °C 1200
Mahu takistus Ω·cm > 10 ^ 14
Dielektriline konstant - 8.2
Dielektriline tugevus kV/mm 16