Materjal - keraamiline

♦ alumiiniumoksiid (Al2O3)

Zhonghui intelligentse tootmisrühma (ZHHIMG) toodetud täpsusega keraamilised osad võivad olla valmistatud kõrge puhtusega keraamilistest toorainetest, 92 ~ 97% alumiiniumoksiidist, 99,5% alumiiniumoksiidist,> 99,9% alumiiniumoksiidist ja CIP-i külma isostaatilisest pressimisest. Kõrge temperatuuriga paagutamine ja täpsus töötlemine, mõõtmete täpsus ± 0,001 mm, sujuvus kuni RA0,1, kasutage temperatuuri kuni 1600 kraadi. Keraamika erinevaid värve saab teha vastavalt klientide nõuetele, näiteks: must, valge, beež, tumepunane jne. Meie ettevõtte toodetud täpsuskeraamilised osad on vastupidavad kõrgele temperatuurile, korrosioonile, kulumisele ja isolatsioonile ning neid saab kasutada pikka aega kõrgel temperatuuril, vaakum- ja söövitava gaasikeskkonna suhtes.

Laialdaselt kasutatav erinevates pooljuhtide tootmisseadmetes: raamid (keraamilised sulgud), substraadi (alus), käe/ silla (manipulaator),, mehaanilised komponendid ja keraamiline õhulaager.

Al2O3

Tootenimi Kõrge puhtus 99 alumiiniumoksiidi keraamiline ruuttoru / toru / varras
Indeks Ühik 85 % Al2O3 95 % Al2O3 99 % Al2O3 99,5 % Al2O3
Tihedus g/cm3 3.3 3.65 3.8 3.9
Vee imendumine % <0,1 <0,1 0 0
Paagutatud temperatuur 1620 1650 1800 1800
Karedus MOHS 7 9 9 9
Paindetugevus (20 ℃)) Mpa 200 300 340 360
Survetugevus KGF/CM2 10000 25000 30000 30000
Pikaajaline töötemperatuur 1350 1400 1600 1650
Max. Töötemperatuur 1450 1600 1800 1800
Mahutakistus 20 ℃ Ω. CM3 > 1013 > 1013 > 1013 > 1013
100 ℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300 ℃ > 109 > 1010 > 1012 > 1012

Suure puhtusega alumiiniumoksiidi keraamika rakendamine:
1. pooljuhtide seadmetele rakendatud: keraamiline vaakumkaht, ketta lõikamine, ketas, keraamiline padrun.
2. vahvliülekande osad: vahvli käitlemise näpunäited, vahvlilõikekettad, vahvlipuhastus kettad, vahvli optilise kontrolli iminaitsid.
3. LED / LCD lameekraani väljapanekutööstus: keraamiline otsik, keraamiline jahvatusketas, lifti tihvt, tihvti rööp.
4. optiline kommunikatsioon, päikeseenergia tööstus: keraamilised torud, keraamilised vardad, vooluahela ekraaniprintimine keraamilised kaabitsad.
5. Soojuskindlad ja elektriliselt isoleerivad osad: keraamilised laagrid.
Praegu saab alumiiniumoksiidi keraamika jagada suureks puhtuseks ja tavaliseks keraamikaks. Kõrge puhtus alumiiniumoksiidi keraamika seeria viitab keraamilisele materjalile, mis sisaldab enam kui 99,9% al₂o₃. Kuna see on paagutamise temperatuuril kuni 1650–1990 ° C ja ülekandelainepikkus 1 ~ 6 μm, töödeldakse see tavaliselt plaatina tiigli asemel sulatatud klaasisse: mida saab kasutada naatriumtoruna selle valguse läbilaskvuse ja korrosioonikindluse tõttu leelise metalli suhtes. Elektroonikatööstuses saab seda kasutada IC-substraatide kõrgsagedusliku isoleerivana. Alumiiniumoksiidi erinevate sisu kohaselt võib tavalise alumiiniumoksiidi keraamilise seeria jagada 99 keraamikaks, 95 keraamikaks, 90 keraamikat ja 85 keraamikat. Mõnikord klassifitseeritakse keraamika, mille alumiiniumoksiidi 80% ehk 75% on ka tavaliste alumiiniumoksiidi keraamiliste seeriatena. Nende hulgas kasutatakse 99 alumiiniumoksiidi keraamilist materjali, et toota kõrgtemperatuuriga tiigli, tuletõrjetoru ja spetsiaalseid kulumiskindlaid materjale, näiteks keraamilisi laagreid, keraamilisi tihendeid ja klapiplaate. 95 alumiiniumkeraamikat kasutatakse peamiselt korrosioonikindla kulumiskindla osana. 85 keraamikat segatakse sageli mõnes omandis, parandades seeläbi elektrilist jõudlust ja mehaanilist tugevust. See võib kasutada molübdeeni, niobiumi, tantaalu ja muid metalli tihendeid ning mõnda kasutatakse elektrivaakumi seadmetena.

 

Kvaliteetne üksus (esinduslik väärtus) Tootenimi AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Keemiline koostis madala naatriumisisaldusega lihtne paagutamine H₂o % 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Lol % 0,1 0,2 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
Sio₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂o % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0.11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9
Keskmise osakeste läbimõõt (MT-3300, laser analüüsi meetod) μm 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
α kristalli suurus μm 0,3 0,3 0,3 0,3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Moodustav tihedus ** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Paagututihedus ** g/cm³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Paagutusjoone kahanev kiirus ** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO ei sisaldu al₂o₃ puhtuse arvutamisel.
* Skaleerimispulber puudub 29,4MPa (300 kg/cm²), paagutamise temperatuur on 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: lisage 0,05 ~ 0,1% MgO, paagutatavus on suurepärane, nii et see on rakendatav alumiiniumoksiidi keraamikaga, mille puhtus ületab 99%.
AES-22S: mida iseloomustab suure moodustuva tiheduse ja paagutamisliini madala kahanemiskiirusega, see on rakendatav, et libiseda valamiseks ja muude vajaliku mõõtmete täpsusega suuremahuliste toodete jaoks.
AES-23 / AES-31-03: sellel on suurem moodustav tihedus, tiksotroopia ja madalam viskoossus kui AES-22S. Esimene on harjunud keraamikaga, viimast kasutatakse ka tulekindluse materjalide vee reduktorina, kogudes populaarsust.

♦ Räni karbiidi (sic) omadused

Üldomadused Põhikomponentide puhtus (WT%) 97
Värvus Must
Tihedus (g/cm³) 3.1
Vee imendumine (%) 0
Mehaanilised omadused Paindetugevus (MPA) 400
Noormoodul (GPA) 400
Vickersi kõvadus (GPA) 20
Termilised omadused Maksimaalne töötemperatuur (° C) 1600
Soojuspaisumistegur RT ~ 500 ° C 3.9
(1/° C x 10-6) RT ~ 800 ° C 4.3
Soojusjuhtivus (w/m x k) 130 110
Termiline šokitakistus ΔT (° C) 300
Elektrilised omadused Mahutakistus 25 ° C 3 x 106
300 ° C -
500 ° C -
800 ° C -
Dielektriline konstant 10 GHz -
Dielektriline kaotus (x 10-4) -
Q tegur (x 104) -
Dielektriline jaotuspinge (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦ Räni nitriidi keraamika

Materiaalne Ühik Si₃n₄
Paagutusmeetod - Gaasirõhk paagutas
Tihedus g/cm³ 3.22
Värvus - Tumehall
Vee imendumise kiirus % 0
Noor moodul GPA 290
Vickersi kõvadus GPA 18 - 20
Survetugevus Mpa 2200
Paindetugevus Mpa 650
Soojusjuhtivus W/mk 25
Termiline šokikindlus Δ (° C) 450 - 650
Maksimaalne töötemperatuur ° C 1200
Mahutakistus Ω · cm > 10 ^ 14
Dielektriline konstant - 8.2
Dielektriline tugevus kv/mm 16