♦Alumiiniumoksiid (Al2O3)
ZhongHui Intelligent Manufacturing Groupi (ZHHIMG) toodetud täppiskeraamilised osad võivad olla valmistatud kõrge puhtusastmega keraamilistest toorainetest, 92–97% alumiiniumoksiidist, 99,5% alumiiniumoksiidist,> 99,9% alumiiniumoksiidist ja CIP külmisostaatilisest pressimisest.Kõrgtemperatuuriline paagutamine ja täppistöötlus, mõõtmete täpsus ± 0,001 mm, siledus kuni Ra0,1, kasutustemperatuur kuni 1600 kraadi.Erinevat värvi keraamikat saab valmistada vastavalt klientide nõudmistele, näiteks: must, valge, beež, tumepunane jne. Meie ettevõtte toodetud täppiskeraamilised osad on vastupidavad kõrgele temperatuurile, korrosioonile, kulumisele ja isolatsioonile ning võivad olla vastupidavad kasutatakse pikka aega kõrge temperatuuri, vaakumi ja söövitava gaasi keskkonnas.
Laialdaselt kasutatav mitmesugustes pooljuhtide tootmisseadmetes: raamid (keraamiline kronstein), aluspind (alus), käsi/sild (manipulaator), mehaanilised komponendid ja keraamiline õhulaager.
tootenimi | Kõrge puhtusastmega 99 alumiiniumoksiidi keraamiline nelinurkne toru / toru / varras | |||||
Indeks | Üksus | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99,5% Al2O3 | |
Tihedus | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
Vee imendumine | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Paagutatud temperatuur | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Kõvadus | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Paindetugevus (20 ℃) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Survetugevus | Kgf/cm2 | 10 000 | 25 000 | 30 000 | 30 000 | |
Pikaajaline töötemperatuur | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
MaxTöötemperatuur | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Mahutakistus | 20℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi keraamika kasutamine:
1. Kasutatakse pooljuhtseadmetele: keraamiline vaakumpadrun, lõikeketas, puhastusketas, keraamiline padrun.
2. Vahvlite ülekandeosad: vahvlite käsitsemispadrunid, vahvlilõikekettad, vahvlipuhastuskettad, vahvlite optilise kontrolli iminapad.
3. LED / LCD lameekraani tööstus: keraamiline otsik, keraamiline lihvimisketas, LIFT PIN, PIN-raudtee.
4. Optiline side, päikesetööstus: keraamilised torud, keraamilised vardad, trükkplaadi siiditrüki keraamilised kaabitsad.
5. Kuumuskindlad ja elektrit isoleerivad osad: keraamilised laagrid.
Praegu saab alumiiniumoksiidkeraamika jagada kõrge puhtusastmega ja tavaliseks keraamikaks.Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidkeraamika seeria viitab keraamilisele materjalile, mis sisaldab rohkem kui 99,9% Al2O3.Kuna paagutamistemperatuur on kuni 1650–1990 °C ja ülekandelainepikkus on 1–6 μm, töödeldakse seda tavaliselt plaatina tiigli asemel sulatatud klaasiks: mida saab kasutada naatriumtoruna tänu valguse läbilaskvusele ja korrosioonikindlusele. leelismetall.Elektroonikatööstuses saab seda kasutada IC-substraatide kõrgsagedusliku isolatsioonimaterjalina.Vastavalt alumiiniumoksiidi erinevale sisaldusele saab tavalise alumiiniumoksiidi keraamika seeria jagada 99 keraamikaks, 95 keraamikast, 90 keraamikast ja 85 keraamikast.Mõnikord liigitatakse 80% või 75% alumiiniumoksiidi sisaldav keraamika ka tavaliseks alumiiniumoksiidi keraamikaseeriaks.Nende hulgas kasutatakse 99 alumiiniumoksiidi keraamilist materjali kõrgtemperatuurse tiigli, tulekindla ahjutoru ja spetsiaalsete kulumiskindlate materjalide, näiteks keraamiliste laagrite, keraamiliste tihendite ja klapiplaatide tootmiseks.95 alumiiniumkeraamikat kasutatakse peamiselt korrosioonikindla kulumiskindla osana.85 keraamikat segatakse sageli teatud omaduste poolest, parandades seeläbi elektrilist jõudlust ja mehaanilist tugevust.See võib kasutada molübdeeni, nioobiumi, tantaali ja muid metallist tihendeid ning mõnda neist kasutatakse elektriliste vaakumseadmetena.
Kvaliteetne toode (tüüpväärtus) | tootenimi | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Keemiline koostis Madala naatriumisisaldusega kergesti paagutav toode | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
LOl | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na2O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0.11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Keskmine osakeste läbimõõt (MT-3300, laseranalüüsi meetod) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α Kristalli suurus | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Moodustamise tihedus** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Paagutamise tihedus** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
Paagutusjoone kahanemiskiirus** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO ei sisaldu Al2O3 puhtuse arvutamisel.
* Katlakivi ei sisalda 29,4 MPa (300 kg/cm²), paagutamistemperatuur on 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: lisage 0,05–0,1% MgO, paagutavus on suurepärane, seega sobib see alumiiniumoksiidkeraamikale, mille puhtus on üle 99%.
AES-22S: paagutamisliini kõrge vormimistihedus ja madal kokkutõmbumiskiirus on kasutatav libisemisvormide valamisel ja muudel suuremahulistel toodetel, millel on nõutav mõõtmete täpsus.
AES-23 / AES-31-03: sellel on suurem vormimistihedus, tiksotroopsus ja madalam viskoossus kui AES-22S.esimest kasutatakse keraamikaga, teist aga tulekindlate materjalide veereduktorina, mis kogub populaarsust.
♦Ränikarbiidi (SiC) omadused
Üldised omadused | Põhikomponentide puhtus (massi%) | 97 | |
Värv | Must | ||
Tihedus (g/cm³) | 3.1 | ||
Vee imendumine (%) | 0 | ||
Mehaanilised omadused | Paindetugevus (MPa) | 400 | |
Noor moodul (GPa) | 400 | ||
Vickersi kõvadus (GPa) | 20 | ||
Termilised omadused | Maksimaalne töötemperatuur (°C) | 1600 | |
Soojuspaisumise koefitsient | RT ~500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | RT ~800°C | 4.3 | |
Soojusjuhtivus (W/m x K) | 130 110 | ||
Soojuslöögikindlus ΔT (°C) | 300 | ||
Elektrilised omadused | Mahutakistus | 25°C | 3x106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Dielektriline konstant | 10 GHz | - | |
Dielektriline kadu (x 10-4) | - | ||
Q-tegur (x 104) | - | ||
Dielektriline läbilöögipinge (KV/mm) | - |
♦ Silikoonnitriidkeraamika
Materjal | Üksus | Si₃N4 |
Paagutamise meetod | - | Gaasurõhuga paagutatud |
Tihedus | g/cm³ | 3.22 |
Värv | - | Tumehall |
Vee neeldumiskiirus | % | 0 |
Noor Modulus | Gpa | 290 |
Vickersi kõvadus | Gpa | 18-20 |
Survetugevus | Mpa | 2200 |
Painutustugevus | Mpa | 650 |
Soojusjuhtivus | W/mK | 25 |
Soojusšoki vastupidavus | Δ (°C) | 450-650 |
Maksimaalne töötemperatuur | °C | 1200 |
Mahutakistus | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Dielektriline konstant | - | 8.2 |
Dielektriline tugevus | kV/mm | 16 |