♦ alumiiniumoksiid (Al2O3)
Zhonghui intelligentse tootmisrühma (ZHHIMG) toodetud täpsusega keraamilised osad võivad olla valmistatud kõrge puhtusega keraamilistest toorainetest, 92 ~ 97% alumiiniumoksiidist, 99,5% alumiiniumoksiidist,> 99,9% alumiiniumoksiidist ja CIP-i külma isostaatilisest pressimisest. Kõrge temperatuuriga paagutamine ja täpsus töötlemine, mõõtmete täpsus ± 0,001 mm, sujuvus kuni RA0,1, kasutage temperatuuri kuni 1600 kraadi. Keraamika erinevaid värve saab teha vastavalt klientide nõuetele, näiteks: must, valge, beež, tumepunane jne. Meie ettevõtte toodetud täpsuskeraamilised osad on vastupidavad kõrgele temperatuurile, korrosioonile, kulumisele ja isolatsioonile ning neid saab kasutada pikka aega kõrgel temperatuuril, vaakum- ja söövitava gaasikeskkonna suhtes.
Laialdaselt kasutatav erinevates pooljuhtide tootmisseadmetes: raamid (keraamilised sulgud), substraadi (alus), käe/ silla (manipulaator),, mehaanilised komponendid ja keraamiline õhulaager.
Tootenimi | Kõrge puhtus 99 alumiiniumoksiidi keraamiline ruuttoru / toru / varras | |||||
Indeks | Ühik | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
Tihedus | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
Vee imendumine | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Paagutatud temperatuur | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Karedus | MOHS | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Paindetugevus (20 ℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Survetugevus | KGF/CM2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Pikaajaline töötemperatuur | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Max. Töötemperatuur | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Mahutakistus | 20 ℃ | Ω. CM3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 |
Suure puhtusega alumiiniumoksiidi keraamika rakendamine:
1. pooljuhtide seadmetele rakendatud: keraamiline vaakumkaht, ketta lõikamine, ketas, keraamiline padrun.
2. vahvliülekande osad: vahvli käitlemise näpunäited, vahvlilõikekettad, vahvlipuhastus kettad, vahvli optilise kontrolli iminaitsid.
3. LED / LCD lameekraani väljapanekutööstus: keraamiline otsik, keraamiline jahvatusketas, lifti tihvt, tihvti rööp.
4. optiline kommunikatsioon, päikeseenergia tööstus: keraamilised torud, keraamilised vardad, vooluahela ekraaniprintimine keraamilised kaabitsad.
5. Soojuskindlad ja elektriliselt isoleerivad osad: keraamilised laagrid.
Praegu saab alumiiniumoksiidi keraamika jagada suureks puhtuseks ja tavaliseks keraamikaks. Kõrge puhtus alumiiniumoksiidi keraamika seeria viitab keraamilisele materjalile, mis sisaldab enam kui 99,9% al₂o₃. Kuna see on paagutamise temperatuuril kuni 1650–1990 ° C ja ülekandelainepikkus 1 ~ 6 μm, töödeldakse see tavaliselt plaatina tiigli asemel sulatatud klaasisse: mida saab kasutada naatriumtoruna selle valguse läbilaskvuse ja korrosioonikindluse tõttu leelise metalli suhtes. Elektroonikatööstuses saab seda kasutada IC-substraatide kõrgsagedusliku isoleerivana. Alumiiniumoksiidi erinevate sisu kohaselt võib tavalise alumiiniumoksiidi keraamilise seeria jagada 99 keraamikaks, 95 keraamikaks, 90 keraamikat ja 85 keraamikat. Mõnikord klassifitseeritakse keraamika, mille alumiiniumoksiidi 80% ehk 75% on ka tavaliste alumiiniumoksiidi keraamiliste seeriatena. Nende hulgas kasutatakse 99 alumiiniumoksiidi keraamilist materjali, et toota kõrgtemperatuuriga tiigli, tuletõrjetoru ja spetsiaalseid kulumiskindlaid materjale, näiteks keraamilisi laagreid, keraamilisi tihendeid ja klapiplaate. 95 alumiiniumkeraamikat kasutatakse peamiselt korrosioonikindla kulumiskindla osana. 85 keraamikat segatakse sageli mõnes omandis, parandades seeläbi elektrilist jõudlust ja mehaanilist tugevust. See võib kasutada molübdeeni, niobiumi, tantaalu ja muid metalli tihendeid ning mõnda kasutatakse elektrivaakumi seadmetena.
Kvaliteetne üksus (esinduslik väärtus) | Tootenimi | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Keemiline koostis madala naatriumisisaldusega lihtne paagutamine | H₂o | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
Lol | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
Sio₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂o | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0.11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Keskmise osakeste läbimõõt (MT-3300, laser analüüsi meetod) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α kristalli suurus | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Moodustav tihedus ** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Paagututihedus ** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
Paagutusjoone kahanev kiirus ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO ei sisaldu al₂o₃ puhtuse arvutamisel.
* Skaleerimispulber puudub 29,4MPa (300 kg/cm²), paagutamise temperatuur on 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: lisage 0,05 ~ 0,1% MgO, paagutatavus on suurepärane, nii et see on rakendatav alumiiniumoksiidi keraamikaga, mille puhtus ületab 99%.
AES-22S: mida iseloomustab suure moodustuva tiheduse ja paagutamisliini madala kahanemiskiirusega, see on rakendatav, et libiseda valamiseks ja muude vajaliku mõõtmete täpsusega suuremahuliste toodete jaoks.
AES-23 / AES-31-03: sellel on suurem moodustav tihedus, tiksotroopia ja madalam viskoossus kui AES-22S. Esimene on harjunud keraamikaga, viimast kasutatakse ka tulekindluse materjalide vee reduktorina, kogudes populaarsust.
♦ Räni karbiidi (sic) omadused
Üldomadused | Põhikomponentide puhtus (WT%) | 97 | |
Värvus | Must | ||
Tihedus (g/cm³) | 3.1 | ||
Vee imendumine (%) | 0 | ||
Mehaanilised omadused | Paindetugevus (MPA) | 400 | |
Noormoodul (GPA) | 400 | ||
Vickersi kõvadus (GPA) | 20 | ||
Termilised omadused | Maksimaalne töötemperatuur (° C) | 1600 | |
Soojuspaisumistegur | RT ~ 500 ° C | 3.9 | |
(1/° C x 10-6) | RT ~ 800 ° C | 4.3 | |
Soojusjuhtivus (w/m x k) | 130 110 | ||
Termiline šokitakistus ΔT (° C) | 300 | ||
Elektrilised omadused | Mahutakistus | 25 ° C | 3 x 106 |
300 ° C | - | ||
500 ° C | - | ||
800 ° C | - | ||
Dielektriline konstant | 10 GHz | - | |
Dielektriline kaotus (x 10-4) | - | ||
Q tegur (x 104) | - | ||
Dielektriline jaotuspinge (KV/mm) | - |
♦ Räni nitriidi keraamika
Materiaalne | Ühik | Si₃n₄ |
Paagutusmeetod | - | Gaasirõhk paagutas |
Tihedus | g/cm³ | 3.22 |
Värvus | - | Tumehall |
Vee imendumise kiirus | % | 0 |
Noor moodul | GPA | 290 |
Vickersi kõvadus | GPA | 18 - 20 |
Survetugevus | Mpa | 2200 |
Paindetugevus | Mpa | 650 |
Soojusjuhtivus | W/mk | 25 |
Termiline šokikindlus | Δ (° C) | 450 - 650 |
Maksimaalne töötemperatuur | ° C | 1200 |
Mahutakistus | Ω · cm | > 10 ^ 14 |
Dielektriline konstant | - | 8.2 |
Dielektriline tugevus | kv/mm | 16 |