Graniidist õhklaagrisüsteeme kasutatakse laialdaseltülitäpneliikumisplatvormid pooljuhtide tootmiseks, optiliseks joondamiseks ja nanomeetri skaala metroloogiaks.
Need süsteemid välistavad mehaanilise kontakti õhukese suruõhukilega, saavutades peaaegu nullhõõrdelise liikumise.
Õhulaagri põhimõte
Õhklaagrid toimivad nii, et kahe pinna vahele juhitakse suruõhk, moodustades 2–20 μm õhukihi.
See välistab:
- Mehaaniline hõõrdumine
- Kandke
- Kleepuv libisemine
Süsteem tugineb vedeliku kile dünaamikale ja stabiilsele laminaarsele voolule.
Graniidi roll
Graniit pakub:
- Struktuuriline stabiilsus
- Termilise triivi summutamine
- Vibratsiooni summutamine
See toimib liikumissüsteemi mehaanilise võrdlusbaasina.
Süsteemi komponendid
- Graniidist alus
- Õhklaagripadjad
- Õhuvarustussüsteem
- Täppiskoodrid
- Liikumisjuhtimissüsteem
Toimivusomadused
Tüüpiline jõudlus hõlmab järgmist:
- Submikroniline positsioneerimistäpsus
- Suur sirgus pikkadel teekondadel
- Null mehaanilist tagasilööki
Peamised veaallikad on õhurõhu ebastabiilsus, termiline triiv ja enkoodri viga.
Rakendused
- Pooljuhtide vahvlite kontroll
- Litograafiasüsteemid
- Optilised joondusplatvormid
- Tipptasemel metroloogiamasinad
KKK
Kas õhulaagrid kuluvad ära?
Mehaanilise kontakti puudumine välistab kulumise.
Miks kasutada graniiti?
Stabiilsuse ja vibratsiooni summutamiseks.
Mis piirab täpsust?
Õhu stabiilsus ja termilised efektid.
Kas nad suudavad raskeid koormaid vedada?
Jah, olenevalt disainist.
Postituse aeg: 03.07.2026