8 Täppis-graniidist komponentide tüüpilist rakendust pooljuhtseadmetes

Pooljuhtseadmetes on alusstruktuur osa täpsuseelarvest. Kiipide kontrollimise tööriist, lasertöötlusplatvorm või metroloogialava ei vaja mitte ainult esimesel päeval mõõtmetelt täpset struktuuri. See vajab struktuuri, mis säilitab oma geomeetria termiliste tsüklite ajal, on vibratsioonile vastupidav, säilitab oma montaažiühendused ja püsib kontrollitud keskkonnas puhtana. See nõuete kombinatsioon on põhjus, miks täppisgraniidist on saanud pooljuhtide tööstuses standardne konstruktsioonimaterjal.

Allpool on kaheksa tüüpilist rakendusttäppisgraniidist komponendidpooljuhtseadmetes ja igaühe kohta: tüüpilised kasutatavad osad, edu määravad tehnilised kaalutlused ja tarnija pakutavad teenused. Kui projekteerite uut tööriista, on see ka teie päringu kontroll-leht.

Suur freesitud graniidist alus freesitud taskute ja keermestatud sisestustega – pooljuhtseadmete mooduli konstruktsioonivundament.

1. Kiipplaatide kontrollimise ja optilise metroloogia seadmete alused

Optilise kontrolli, defektide ülevaatuse ja visuaalse mõõtmise süsteemidel on üks ühine nõue: stabiilne kinnitus ja mõõtmisviide kõrglahutusega optika all. Aluse igasugune mikroliikumine muutub pildil müraks.

• Tüüpilised komponendid:graniidist alus, sammas, sild, optilise rööpa kinnituspind, keermestatud vahetükid.
• Insenerifookus:optilise tugitasandi tasasus, kinnituspindade paralleelsus, augu asukoha täpsus, termiline stabiilsus, vibratsiooni kontroll.
• Mida ZHHIMG pakub:materjali valik, konstruktsioonide töötlemine, täppislihvimine, sisestusdetailide paigaldamine ja iga kriitilise pinna mõõtmete kontrolliaruanded.
• Teie päringu jaoks:2D/3D joonised, optiline kasulik koormus, sihtmärgi korduvus, keskkonna temperatuurivahemik.

2. Vahvlite käsitsemise ja täppispositsioneerimise platvormid

XY-platvormid, lineaarmootoriga platvormid ja ülitäpsed positsioneerimismehhanismid vajavad jäika mehaanilist tugipunkti, mis ei triivi platvormi tuhandete kordade tunnis kiirendamise ja aeglustamise ajal.

• Tüüpilised komponendid:graniidist alusplaat, graniitmasinavoodi, lineaarjuhikute kinnitusrööpad, mootori kinnituspadjad.
• Insenerifookus:Juhikute pesade tasasus ja sirgus, telgede vaheline ristiase, juhtplaadi väljatõmbetugevus, lava tekitatud vibratsiooni summutamine.
• Mida ZHHIMG pakub:Rööpaistme töötlemine täpse tolerantsiga, vahetükkide paigaldamine koos pöördemomendi dokumentatsiooni, modaal- ja tasapinna mõõtmise andmetega.
• Teie päringu jaoks:käik, koormus, kiirendusprofiil, sihtmärgi positsioneerimise täpsus, paigaldussuund.

3. AOI seadmete konstruktsiooniosad

Automatiseeritud optilised kontrolltööriistad ühendavad suure eraldusvõimega pildistamise kiire liikumisega. Alus, tala ja post kannavad kaameraid ja valgustust ning montaažiraam hoiab iga mooduli geomeetrilises seoses.

• Tüüpilised komponendid:graniidist alus, risttala, post, kaamera ja andurite kinnituspinnad, montaažiraami liidesed.
• Insenerifookus:samba ja aluse täisnurksus, tala paralleelsus, ava ja pilu asukoha täpsus, pikaajaline geomeetriline stabiilsus.
• Mida ZHHIMG pakub:Töödeldud ja kaetud konstruktsioonikomplektid, metalldetailide ühendamine, tehase eelmontaaž ja geomeetria kontrollimine enne saatmist.
• Teie päringu jaoks:CAD-andmed, kaamera ja valgustuse paigutus, liikumisruum, vajalik pildistamisstabilsus.

4. Tööstuslike kompuutertomograafia ja röntgenikiirte kontrollsüsteemide alused

Tööstuslikud kompuutertomograafia- ja röntgenikiirguse süsteemid koondavad ühele konstruktsioonile allika, manipuleerimisastme ja detektori. Igasugune nende kolme vaheline suhteline liikumine kajastub pildiveana.

• Tüüpilised komponendid:graniidist alus, pöörleva lava kinnitusplaat, allika ja detektori sambad, kiirgusvarjestuse integreerimispinnad.
• Insenerifookus:koaksiaalne joonduspunkt allika, töölaua ja detektori vahel, pöörlemistelje istme tasasus, vibratsiooni kontroll, augu asukoha täpsus.
• Mida ZHHIMG pakub:Mitme pinna töötlemine joonduspunktidega, lõiketera paigaldamine, täielik mõõtmete aruanne koos mõõtmistingimustega.
• Teie päringu jaoks:allika ja detektori vaheline kaugus, pöörlev kasulik koormus, eraldusvõimega sihtmärk, põrandapind ja paigaldusmeetod.

5. Lasertöötluse ja lasermõõtmise platvormid

Femtosekundiline ja pikosekundiline lasermikrotöötlus, täppismärgistamine, optiline joondamine ja lasermõõteseadmed – kõik need fokuseerivad energiat läbi mikronites mõõdetud kiirejoone. Optika all olev platvorm ei tohi kiirt liigutada.

• Tüüpilised komponendid:graniidist platvorm, optilise pea tugi, kiiretee kinnitusrööpad, töödeldavate detailide laud.
• Insenerifookus:optilise kinnitustasandi tasasus, termiline stabiilsus suletud laserkeskkondades, kõrgsagedusliku vibratsiooni summutamine.
• Mida ZHHIMG pakub:Summutuseks valitud peeneteraline graniit, kaetud optilised kinnituspinnad, vajadusel integreerimine kärgstruktuuri või terasest aluskonstruktsioonidega.
• Teie päringu jaoks:laseri lainepikkus ja võimsus, optiline paigutus, tööala, puhtusnõuded.

6. CMM, videomõõtmise ja täppismetroloogia seadmed

Graniit on pikka aega olnud metroloogia standardmaterjal: CMM-ide töölauad, juhikud, sambad, sillad ja alused, videomõõtemasinad ja muud täppismõõteinstrumendid tuginevad graniidi stabiilsusele ja karedatavusele.

• Tüüpilised komponendid:töölaudtäppismõõtminetugipinnad, silla- ja sammaskonstruktsioonid, juhikute istmed.
• Insenerifookus:Mõõtelaua mikronitasemel tasasus, juhikupesade sirgus täisliikumisel, kulumiskindlus libiseva kokkupuute korral.
• Mida ZHHIMG pakub:käsitsi soppitud pinnad koos tasasuskaartidega, kalibreerimistunnistustega, mis on jälgitavad tegelikult kasutatud instrumendini, valikuline sobitatud soppimine.
• Teie päringu jaoks:mõõteulatus, täpsusklass, lubatud piirvea sihtmärk, kohaldatavad standardid.

7. Õhklaagritega täppisliikumisplatvormid

Õhklaagrid liiguvad survestatud kilel ilma tahke kontaktita, mis vähendab hõõrdumist ja kulumist peaaegu nullini. Õhklaagri all olev graniit ei ole passiivne plokk: selle pinnakvaliteet määrab otseselt kile käitumise.

• Tüüpilised komponendid:graniidist alus kattegaõhulaagerpinnad, juhtrööpad, graniidist meistrid ümaruse ja tasapinnalisuse instrumendid, ülitäpsed lavakonstruktsioonid.
• Insenerifookus:Õhukile pindade pinnaviimistlus ja tasasus, pooride ja mikrodefektide kontroll, vastassuunaliste laagripindade paralleelsus, pikaajaline stabiilsus.
• Mida ZHHIMG pakub:sertifitseeritud geomeetriaga, sobitatud pinnakomplektidega ja puhasruumiga ühilduva pakendiga kaetud ja poleeritud õhklaagripinnad.
• Teie päringu jaoks:õhufilmi disain, koormus ja eelkoormus, liikumine, sihtmärgi sirgus või ümarus.

8. Pooljuhtseadmete moodulite moodulplatvormid

Ülitäpsete moodulite lõplik integreerimine toimub kontrollitud temperatuuri, niiskuse ja vibratsiooni tingimustes, sageli puhasruumis. Graniitplatvormid toimivad montaaži alusena, kus graniidist osad, metallosad, keraamilised osad, rööpad, õhklaagrikomponendid ja liikumismoodulid kokku saavad.

• Tüüpilised komponendid:modulaarsed graniidist montaažiplatvormid, tööriistade ja kinnitusdetailide liidesed, moodulite dokkimispinnad.
• Insenerifookus:moodulitevaheline andmeandmete järjepidevus, sisestusdetailide ja tüüblite täpsus, ühilduvus puhasruumi montaažitingimustega.
• Mida ZHHIMG pakub:puhasruumkokkupanek, kontroll ja kalibreerimineterviklikest moodulitest, mis integreerivad graniidist, metallist ja keraamilised komponendid kontrollitud komplekti.
• Teie päringu jaoks:moodulite loend, puhtusklass, montaažijärjekord, lõppkontrolli kriteeriumid.

Üks insenerikontrollnimekiri kõigi kaheksa rakenduse jaoks

Kõigis neis rakendustes jäävad inseneriküsimused samaks: milline geomeetria peab vastu pidama, millisel alal, millises termilises ja vibratsioonikeskkonnas ning kui kaua. Graniidi tarnija, kes suudab vastata mõõdetud andmetega – tasapinnakaardid, partiimaterjali aruanded, sisestusmomendi andmed –, on tarnija, keda saab auditeerida. ZHHIMG toetabpooljuhtseadmedtootjad, kellel on täpselt selline lähenemine.

ZHHIMG® toetab pooljuhtseadmete tootjaid kohandatud graniidist aluste, raamide, juhikute, õhklaagrite ja integreeritud täppissõlmede pakkumisega. Võtke meiega ühendust ja saatke oma joonis insenerihinnangu saamiseks.